发明公开
- 专利标题： PELLICLE MEMBRANE
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申请号： EP22758444.8申请日： 2022-07-28
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公开(公告)号： EP4392825A1公开(公告)日： 2024-07-03
- 发明人: AGRICOLA, Franciscus, Theodorus , FERRE LLIN, Lourdes , DE GRAAF, Dennis , ANDE, Chaitanya Krishna , DONMEZ NOYAN, Inci , SI, Fai Tong , VAN DER WOORD, Ties, Wouter , ROLLIER, Anne-Sophie , BIRON, Maxime , GIESBERS, Adrianus, Johannes, Maria
- 申请人： ASML Netherlands B.V.
- 申请人地址： NL 5500 AH Veldhoven P.O. Box 324
- 专利权人： ASML Netherlands B.V.
- 当前专利权人： ASML Netherlands B.V.
- 当前专利权人地址： NL 5500 AH Veldhoven P.O. Box 324
- 代理机构： ASML Netherlands B.V.
- 优先权： EP 193346 2021.08.26
- 国际申请： EP2022071251 2022.07.28
- 国际公布： WO2023025511 2023.03.02
- 主分类号： G03F1/62
- IPC分类号： G03F1/62 ; G03F7/20
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