公开(公告)号：EP4392825A1

公开(公告)日：2024-07-03

申请号：EP22758444.8

申请日：2022-07-28

申请人： ASML Netherlands B.V.

发明人： AGRICOLA, Franciscus, Theodorus ,  FERRE LLIN, Lourdes ,  DE GRAAF, Dennis ,  ANDE, Chaitanya Krishna ,  DONMEZ NOYAN, Inci ,  SI, Fai Tong ,  VAN DER WOORD, Ties, Wouter ,  ROLLIER, Anne-Sophie ,  BIRON, Maxime ,  GIESBERS, Adrianus, Johannes, Maria

IPC分类号： G03F1/62 ,  G03F7/20

CPC分类号： G03F1/62 ,  G03F7/70983

公开(公告)号：EP4004647A1

公开(公告)日：2022-06-01

申请号：EP20743705.4

申请日：2020-07-24

申请人： ASML Netherlands B.V.

发明人： JANSSEN, Paul ,  BIRON, Maxime ,  DONMEZ NOYAN, Inci ,  FERRE LLIN, Lourdes ,  GIESBERS, Adrianus, Johannes, Maria ,  KLOOTWIJK, Johan, Hendrik ,  KUNTZEL, Jan, Hendrik, Willem ,  NOTENBOOM, Arnoud, Willem ,  ROLLIER, Anne-Sophie ,  VAN DER WOORD, Ties, Wouter ,  VAN ZWOL, Pieter-Jan

IPC分类号： G03F1/62 ,  G03F1/64 ,  G03F7/20

公开(公告)号：EP3788442A1

公开(公告)日：2021-03-10

申请号：EP19716199.5

申请日：2019-04-12

申请人： ASML Netherlands B.V.

发明人： DE GRAAF, Dennis ,  BEAUDRY, Richard ,  BIRON, Maxime ,  JANSSEN, Paul ,  KATER, Thijs ,  KORNELSEN, Kevin ,  KUIJKEN, Michael, Alfred, Josephus ,  KUNTZEL, Jan, Hendrik, Willem ,  MARTEL, Stephane ,  NASALEVICH, Maxim, Aleksandrovich ,  SALMASO, Guido ,  VAN ZWOL, Pieter-Jan

IPC分类号： G03F1/62 ,  G03F7/20