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发明公开
PELLICLE MEMBRANE 审中-实审

公开(公告)号：EP4392825A1

公开(公告)日：2024-07-03

申请号：EP22758444.8

申请日：2022-07-28

申请人： ASML Netherlands B.V.

发明人： AGRICOLA, Franciscus, Theodorus , FERRE LLIN, Lourdes , DE GRAAF, Dennis , ANDE, Chaitanya Krishna , DONMEZ NOYAN, Inci , SI, Fai Tong , VAN DER WOORD, Ties, Wouter , ROLLIER, Anne-Sophie , BIRON, Maxime , GIESBERS, Adrianus, Johannes, Maria

IPC分类号： G03F1/62 , G03F7/20

CPC分类号： G03F1/62 , G03F7/70983