- 专利标题： SCANNING RADICAL SENSOR USABLE FOR MODEL TRAINING
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申请号： EP22904887.1申请日： 2022-11-08
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公开(公告)号： EP4445405A1公开(公告)日： 2024-10-16
- 发明人: MOFFATT, Stephen , HILKENE, Martin
- 申请人： Applied Materials Inc;
- 申请人地址： US Santa Clara CA 95054 3050 Bowers Avenue
- 代理机构： Zimmermann & Partner Patentanwälte mbB
- 优先权： US202117545618 20211208
- 国际公布： WO2023107228 20230615
- 主分类号： H01J37/32
- IPC分类号： H01J37/32
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