【課題】処理対象物を所望の電位に帯電させ得る効果が極めて高い帯電処理装置を実現することが可能な電子源ユニットを提供すること。 【解決手段】電子源ユニット3は、処理対象物POを所望の電位に帯電させる帯電処理装置に用いられ、処理対象物POが位置する処理空間に存在する荷電粒子形成用ガスの分子を励起させる電子を発生させる。電子源ユニット3は、電子を発生させる電子発生源5と、電子発生源5に電位を供給する電流導入端子13と、電子発生源5を収容する電子源筐体7と、電子源筐体7の外側空間と電子源筐体7内の電子発生源5が位置する空間とを仕切るように位置し、かつ、電子発生源5にて発生する電子が電子源筐体7の外側空間に向けて通過するメッシュ状の電極部11と、を備えている。電極部11は、上記所望の電位とされる。 【選択図】図2