公开(公告)号：JPWO2020157809A1

公开(公告)日：2021-11-25

申请号：JP2019002803

申请日：2019-01-28

Applicant: 株式会社日立ハイテク

Inventor： 大嶋 卓 ,  井手 達朗 ,  森下 英郎 ,  小瀬 洋一 ,  野間口 恒典 ,  揚村 寿英

IPC: H01J37/06 ,  H01J37/073 ,  H01J1/34

Abstract: 試料上で電子ビームを2次元にスキャンさせる走査型電子線応用装置において、電子源として光励起電子源を用いる場合においても高分解能化を達成する。このため、屈折率が1.7 を超える基板(11)と光電膜(10)とを有するフォトカソード(1)と、励起光をフォトカソードに向けて集光する集光レンズ(2)と、フォトカソードに対向して配置され、励起光が集光レンズにより集光され、フォトカソードの基板を透過して入射されることにより、フォトカソードの光電膜から発生する電子ビームを加速させる引き出し電極(3)と、引き出し電極により加速された電子ビームを試料上で2次元に走査する偏向器(25)を含む電子光学系と、を有する電子線応用装置において、集光レンズの球面収差は、光電膜上で球面収差の二乗平均平方根が励起光の波長の1/14以下とする。

公开(公告)号：JP2021530086A

公开(公告)日：2021-11-04

申请号：JP2020573364

申请日：2019-07-01

Applicant: ケーエルエー コーポレイション

Inventor： シアーズ クリストファー

IPC: H01J37/28 ,  H01J37/073 ,  G01N23/2251 ,  H01J37/06

Abstract: 磁気微小集束の電子放出源装置が開示される。装置は、磁気エミッタユニットを含み得て、磁気エミッタユニットはエミッタを含む。更に、磁気エミッタユニットは、1つ以上の磁性材料から形成された1つ以上の磁気部分を含み得て、磁気エミッタユニットの1つ以上の磁気部分は、磁気エミッタユニットのエミッタの先端に近接する磁場を生成して、電子エミッタからの放出電子の集束を強化するように構成される。

公开(公告)号：JP6958789B2

公开(公告)日：2021-11-02

申请号：JP2018536349

申请日：2016-10-03

Applicant: ダフネ テクノロジー ソシエテ アノニム

Inventor： マイカン,ジュアン マリオ

IPC: B63H21/32 ,  B01D53/92 ,  B01D53/86 ,  B01D53/94 ,  B01D53/60 ,  F01N3/08 ,  H01J37/073 ,  H01J9/02 ,  B01J23/30 ,  B01J19/08 ,  B01D53/74

公开(公告)号：JP2021174772A

公开(公告)日：2021-11-01

申请号：JP2021069036

申请日：2021-04-15

Applicant: アイエムエス ナノファブリケーション ゲーエムベーハー

Inventor： シュテファン ゲルホルト ,  ヴェルナー ルップ ,  マッティア カプリオッティ ,  クリストフ シュペングラー

IPC: H01J27/26 ,  H01J37/073 ,  H01J37/08

Abstract: 【課題】荷電粒子源等の稼働時間を向上させる。 【解決手段】荷電粒子を生成する荷電粒子源(100)であり、エミッタ表面(111)を備えるエミッタ電極(101)と、エミッタ電極(101)に対して荷電粒子と逆の符号の静電電圧に保持された対向電極(103)と、エミッタ電極(101)と対向電極(103)との間の線源空間(110)を囲む一以上の調整電極(104、105、106、107)を含む一連の電極から構成されている。これらの電極は中心軸(cx)に沿った基本的な全体的回転対称性を持っているが、例外として一以上のステアリング電極(104、105、106、107)については、線源の電位の半径方向の軸対称性を破る電極であり、例えば傾斜させたり偏心した位置や向きにシフトしたりすることで、意図しない二次荷電粒子(sc)を放射面(111)から強制的に遠ざけるように構成されている。 【選択図】図1

公开(公告)号：JP6943701B2

公开(公告)日：2021-10-06

申请号：JP2017178015

申请日：2017-09-15

Applicant: 日本電子株式会社

Inventor： 河野 祐二

IPC: H01J37/06 ,  H01J37/073

公开(公告)号：JP6867568B2

公开(公告)日：2021-04-28

申请号：JP2016217035

申请日：2016-11-07

Applicant: 国立大学法人東京工業大学 ,  テラベース株式会社 ,  大学共同利用機関法人 高エネルギー加速器研究機構

Inventor： 澁谷 達則 ,  林崎 規託 ,  吉田 光宏

IPC: H01S3/00 ,  H01J1/34 ,  H01J9/12 ,  H01J37/073

公开(公告)号：JP2020202081A

公开(公告)日：2020-12-17

申请号：JP2019108154

申请日：2019-06-10

Applicant: 株式会社Photo electron Soul

Inventor： 小泉 淳 ,  飯島 北斗

IPC: H01J37/06 ,  H01J37/073

Abstract: 【課題】電子銃が具備する構成のみで、フォトカソードから放出された電子ビームの強度を直接モニタできる電子銃、電子銃を搭載した電子線適用装置、および、電子銃の制御方法を提供する。 【解決手段】光源2と、光源2からの受光に応じて、電子ビームBを放出するフォトカソード3と、アノード4と、電子ビームBの一部を遮蔽することができる電子ビーム遮蔽部材5と、電子ビーム遮蔽部材5により遮蔽した測定用電子ビームを用いて、フォトカソード3から放出された電子ビームBの強度を測定する測定部と、を含む電子銃。 【選択図】図1

公开(公告)号：JP2020119762A

公开(公告)日：2020-08-06

申请号：JP2019010067

申请日：2019-01-24

Applicant: 国立研究開発法人物質・材料研究機構 ,  日本電子株式会社

Inventor： ザン ハン ,  唐 捷 ,  庭田 章 ,  神保 雄 ,  北村 真一 ,  眞部 弘宣

IPC: H01J37/073 ,  H01J27/26 ,  H01J37/06 ,  H01J1/304

Abstract: 【課題】気体を導入しないで電界蒸発のみによって、エミッション電流を安定化させる、電子源の安定化方法を提供する。 【解決手段】電子ビームを発生する電子源としてLaB 6 を用い、電子ビームを発生させるときに電子源に印加する電圧と比較して、電界が逆方向であって、電圧の絶対値が4倍以上であるパルス電圧を電子源に印加することにより、電子源を安定化する。 【選択図】図2

公开(公告)号：JP6679014B1

公开(公告)日：2020-04-15

申请号：JP2019150764

申请日：2019-08-20

Applicant: 株式会社Photo electron Soul

Inventor： 鹿野悠 ,  佐藤大樹 ,  渡辺励起 ,  守谷智昭 ,  飯島北斗

IPC: H01J3/02 ,  H01J1/34 ,  H01J1/88 ,  H01J37/073

Abstract: 【課題】レンズとの焦点距離の調整が不要な透過型フォトカソードキットを提供する。 【解決手段】フォトカソードキットは、フォトカソード膜22を第1面23に形成した基板21と、レンズと、基板21およびレンズ3を保持するホルダ4と、を含み、ホルダ4は、フォトカソード膜22とレンズ4とを、所定の距離となるように保持する内部が中空のスペーサ42と、ホルダ4の内部とホルダ4の外部とを連通する第1の連通部45と、を有する。 【選択図】図1

公开(公告)号：JP2020035572A

公开(公告)日：2020-03-05

申请号：JP2018159495

申请日：2018-08-28

Applicant: 株式会社オーク製作所

Inventor： 酒井 規行 ,  林 武弘

IPC: H01J37/073 ,  H01J37/06 ,  H01J61/88 ,  H01J61/86 ,  H01J61/073 ,  H01J61/09

Abstract: 【課題】放電ランプにおいて、効果的に放熱を行って電極温度を抑える。 【解決手段】電極30において、先端側部材34に筒状凹部40を先端側とは逆に向けて形成し、後端側部材32に柱状部50を同軸的に形成する。筒状凹部40は柱状部50を収容するとともに、その間に軸方向Xおよび軸垂直方向に沿って隙間60が形成されている。隙間60の表面積は、隙間60の軸方向長さL1に沿った電極側面部分Tの表面積よりも大きい。 【選択図】図2