Invention Patent
- Patent Title: 導電性高分子組成物、被覆品、パターン形成方法、及び基板
- Patent Title (English): Conductive polymer composition, coated article, patterning process, and substrate
- Patent Title (中): 导电聚合物组合物,涂层制品,图案处理和基材
-
Application No.: JP2015169308Application Date: 2015-08-28
-
Publication No.: JP2016145319APublication Date: 2016-08-12
- Inventor: 長澤 賢幸 , 畠山 潤
- Applicant: 信越化学工業株式会社
- Applicant Address: 東京都千代田区大手町二丁目6番1号
- Assignee: 信越化学工業株式会社
- Current Assignee: 信越化学工業株式会社
- Current Assignee Address: 東京都千代田区大手町二丁目6番1号
- Agent 好宮 幹夫
- Priority: JP2015017233 2015-01-30
- Main IPC: C08K5/19
- IPC: C08K5/19 ; C08L33/14 ; C08L25/18 ; H01L21/027 ; H05F1/00 ; H05F1/02 ; C08L79/00
Abstract:
【課題】帯電防止能に優れ、レジストに悪影響を与えず、塗布性に優れ、電子線等を用いたリソグラフィーに好適に用いることができる導電性高分子組成物を提供することを目的とする。 【解決手段】下記一般式(1)で表される繰り返し単位を有するポリアニリン系導電性高分子(A)と、ポリアニオン(B)と、ベタイン化合物(C)とを含有する導電性高分子組成物。 【化1】 (式中、R A1 〜R A4 はそれぞれ独立にヘテロ原子を有してもよい炭素数1〜20の直鎖状、分岐状又は環状の1価炭化水素基、水素原子、ハロゲン原子のいずれかを示す。また、R A1 とR A2 、あるいはR A3 とR A4 は互いに結合して環を形成してもよい。) 【選択図】なし
Public/Granted literature
- JP6383337B2 導電性高分子組成物、被覆品、パターン形成方法、及び基板 Public/Granted day:2018-08-29
Information query