(式中、RA1〜RA4はそれぞれ独立にヘテロ原子を有してもよい炭素数1〜20の直鎖状、分岐状又は環状の1価炭化水素基、水素原子、ハロゲン原子のいずれかを示す。また、RA1とRA2、あるいはRA3とRA4は互いに結合して環を形成してもよい。)
【選択図】なし ">
Invention Patent
JP2016145319A 導電性高分子組成物、被覆品、パターン形成方法、及び基板 审中-公开
导电聚合物组合物,涂层制品,图案处理和基材

導電性高分子組成物、被覆品、パターン形成方法、及び基板
Abstract:
【課題】帯電防止能に優れ、レジストに悪影響を与えず、塗布性に優れ、電子線等を用いたリソグラフィーに好適に用いることができる導電性高分子組成物を提供することを目的とする。 【解決手段】下記一般式(1)で表される繰り返し単位を有するポリアニリン系導電性高分子(A)と、ポリアニオン(B)と、ベタイン化合物(C)とを含有する導電性高分子組成物。 【化1】 (式中、R A1 〜R A4 はそれぞれ独立にヘテロ原子を有してもよい炭素数1〜20の直鎖状、分岐状又は環状の1価炭化水素基、水素原子、ハロゲン原子のいずれかを示す。また、R A1 とR A2 、あるいはR A3 とR A4 は互いに結合して環を形成してもよい。) 【選択図】なし
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