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公开(公告)号：JP2022000709A
公开(公告)日：2022-01-04
申请号：JP2021157022
申请日：2021-09-27
申请人： 信越化学工業株式会社
发明人： 簗瀬 優
IPC分类号： G03F1/64
摘要： 【課題】フレーム由来の散乱光を防止し、フレーム表面に付着した異物を確実かつ容易に検出することができるペリクルフレーム、ペリクル、ペリクル付露光原版及び露光方法、並びに半導体装置又は液晶表示板の製造方法を提供することを目的とする。 【解決手段】本発明は、ペリクル膜を設ける上端面とフォトマスクに面する下端面とを有する枠状のペリクルフレームであって、該ペリクルフレームの内側面には、粗さ曲線のクルトシス(Rku)が3.0以下である領域を有することを特徴とするペリクルフレーム、ペリクル、ペリクル付露光原版及び露光方法、並びに半導体装置又は液晶表示板の製造方法を提供する。 【選択図】図1
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公开(公告)号：JP2021195499A
公开(公告)日：2021-12-27
申请号：JP2020105089
申请日：2020-06-18
申请人： 信越化学工業株式会社
摘要： 【課題】 本発明は、高い熱伝導性を有し、圧縮性に優れた熱伝導性シリコーン組成物の硬化物を提供することを目的とする。 【解決手段】 オルガノ(ポリ)シロキサン及び熱伝導性フィラーを含有するシリコーン組成物であり、前記オルガノ(ポリ)シロキサンは少なくとも1つの硬化性オルガノ(ポリ)シロキサンを含み、 該熱伝導性フィラーは(B−i)平均粒径20μm以上及び120μm以下を有する非焼結の窒化アルミニウムと、(B−ii)平均粒径0.1μm以上及び5μm以下を有するアルミナとからなり、 前記(B−ii)アルミナは不定形アルミナ及び球状アルミナであり、該(B−ii)成分の全質量に対する球状アルミナの含有量が25〜80質量%であること、 前記(B−ii)成分の割合が、前記(B−i)及び(B−ii)成分の合計質量に対して25〜50質量%であること、及び、 該シリコーン組成物の総体積に対する前記熱伝導性フィラーの体積の割合が80〜90体積%であることを特徴とする、前記シリコーン組成物。 【選択図】なし
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公开(公告)号：JP2021195396A
公开(公告)日：2021-12-27
申请号：JP2020100687
申请日：2020-06-10
申请人： 信越化学工業株式会社 , 学校法人金沢工業大学
IPC分类号： C08L101/00 , C08K9/06 , C08K7/06 , B29B15/08 , D06M11/79 , D06M23/08 , B29K105/12 , D06M101/40 , C08J3/20
摘要： 【課題】熱可塑性樹脂との親和性及び接着性に優れる改質炭素繊維を含み、その成形体が機械的強度に優れる改質炭素繊維含有熱可塑性樹脂組成物及びその成形体の製造方法の提供。 【解決手段】(A1)4官能性シラン化合物等を加水分解縮合してなる親水性球状シリカ微粒子を得る工程と、(A2)該親水性球状シリカ微粒子の表面に、R 1 SiO 3/2 単位(R 1 は1価炭化水素基である)を導入する工程と、(A3)R 2 3 SiO 1/2 単位(各R 2 は同一又は異なる1価炭化水素基である)を導入する工程とを含む方法により、疎水性球状シリカ微粒子を製造する工程、該疎水性球状シリカ微粒子を炭素繊維に添加し、混合することで改質炭素繊維を製造する工程、及び該改質炭素繊維を熱可塑性樹脂に添加し、混合する工程を有する改質炭素繊維含有熱可塑性樹脂組成物の製造方法。 【選択図】図1
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公开(公告)号：JP2021195319A
公开(公告)日：2021-12-27
申请号：JP2020101513
申请日：2020-06-11
申请人： 信越化学工業株式会社
发明人： 木村 真司
摘要： 【課題】有機溶剤への溶解性および光透過性に優れるポリイミド樹脂を与えるケイ素含有テトラカルボン酸二無水物を提供すること。 【解決手段】下記一般式(1)で表されるケイ素含有テトラカルボン酸二無水物。 (式中、R 1 は、一価炭化水素基であり、R 2 は、水素原子または一価炭化水素基であり、Aは、式(2) で表される二価の基であり、破線は、結合手を表す。) 【選択図】なし
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公开(公告)号：JP2021195281A
公开(公告)日：2021-12-27
申请号：JP2020102926
申请日：2020-06-15
申请人： 信越化学工業株式会社
摘要： 【課題】 粒子径の制御を行い、大スケールの合成においても均一な粒子径のナノ粒子を得ることができる量子ドットの製造方法を提供することを目的とする。 【解決手段】 ペロブスカイト型の量子ドットの製造方法であって、それぞれ異なる元素を含む複数の前駆体溶液を用い、前記複数の前駆体溶液をそれぞれ加熱し、前記前駆体溶液のエアロゾルとしてそれぞれ噴霧し、複数の前記エアロゾルを衝突させて気相反応させ、溶媒に滴下することにより前記異なる元素を含むコア粒子を合成する量子ドットの製造方法。 【選択図】図1
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公开(公告)号：JP2021193436A
公开(公告)日：2021-12-23
申请号：JP2020099745
申请日：2020-06-09
申请人： 信越化学工業株式会社
摘要： 【課題】高平坦、低欠陥で、粗さが小さい表面を有し、反射膜成膜後のEUV光の反射率が十分に高く、最先端用途のEUVLマスクブランクス用基板として好適なマスクブランクス用ガラス基板を提供する。 【解決手段】10μm×10μmの領域の表面形状を原子間力顕微鏡で測定して得られる、空間周波数0.1μm -1 以上20μm -1 以下の環状平均パワースペクトル密度の最大値が、1000nm 4 以下であるマスクブランクス用ガラス基板。 【選択図】なし
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