发明专利

焼成用セッター
摘要:
【課題】コーティング層の剥離が抑制された焼成用セッターを提供する。 【解決手段】焼成用セッターは、SiCとSiを主成分とする基材と、基材の表面を被覆しているとともにZr化合物とAl化合物を主成分とするコーティング層を備えている。 この焼成用セッターでは、基材とコーティング層の結合面積が、基材表面の面積に対して20%以上80%以下である。 【選択図】図2
公开/授权文献
信息查询
0/0