发明专利
JP2019119659A 焼成用セッター
审中-公开
- 专利标题: 焼成用セッター
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申请号: JP2018002151申请日: 2018-01-10
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公开(公告)号: JP2019119659A公开(公告)日: 2019-07-22
- 发明人: 古宮山 常夫 , 水野 貴博 , 松葉 浩臣
- 申请人: 日本碍子株式会社 , エヌジーケイ・アドレック株式会社
- 申请人地址: 愛知県名古屋市瑞穂区須田町2番56号
- 专利权人: 日本碍子株式会社,エヌジーケイ・アドレック株式会社
- 当前专利权人: 日本碍子株式会社,エヌジーケイ・アドレック株式会社
- 当前专利权人地址: 愛知県名古屋市瑞穂区須田町2番56号
- 代理商 特許業務法人快友国際特許事務所
- 主分类号: F27D3/12
- IPC分类号: F27D3/12 ; C04B35/64 ; C04B41/89 ; C04B35/565
摘要:
【課題】コーティング層の剥離が抑制された焼成用セッターを提供する。 【解決手段】焼成用セッターは、SiCとSiを主成分とする基材と、基材の表面を被覆しているとともにZr化合物とAl化合物を主成分とするコーティング層を備えている。 この焼成用セッターでは、基材とコーティング層の結合面積が、基材表面の面積に対して20%以上80%以下である。 【選択図】図2
公开/授权文献
- JP6876635B2 焼成用セッター 公开/授权日:2021-05-26
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