【課題】 整備性の向上化を図る。 【解決手段】 制振装置1は、ベース3と、ガイド装置4と、ガイド装置4に往復移動可能に保持された可動子座5a,5b,5cと、その上側に載置された可動マス2と、可動子座5a,5b,5cの下側に取り付けられた可動子を備えるリニアモータと、を備える。可動子座5a,5b,5cは、上面から上方に突出するピン7a,7b,7cを備える。可動マス2は、下面側に設けて可動子座5a,5b,5cのピン7a,7b,7cが挿入される嵌合孔8a,8b,8cと、ジャッキアップポイント9と、を備える。制振装置1の整備を行うときには、可動マス2をジャッキアップし、可動子座5a,5b,5cを可動マス2の下方から引き出して、可動子座5a,5b,5cや可動子の整備を行う。 【選択図】図1