Invention Patent
- Patent Title: シンチレータ、計測装置、質量分析装置および電子顕微鏡
- Patent Title (English): SCINTILLATOR, MEASUREMENT DEVICE, MASS SPECTROSCOPE AND ELECTRON MICROSCOPE
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Application No.: JP2019233378Application Date: 2019-12-24
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Publication No.: JP2021103612APublication Date: 2021-07-15
- Inventor: 今村 伸 , 楠 敏明 , 高橋 恵理 , 關口 好文 , 神田 隆之
- Applicant: 株式会社日立ハイテク
- Applicant Address: 東京都港区虎ノ門一丁目17番1号
- Assignee: 株式会社日立ハイテク
- Current Assignee: 株式会社日立ハイテク
- Current Assignee Address: 東京都港区虎ノ門一丁目17番1号
- Agent 特許業務法人平木国際特許事務所
- Main IPC: H01J37/244
- IPC: H01J37/244 ; C09K11/62 ; C09K11/00 ; H01J49/06
Abstract:
【課題】発光強度を向上させられるシンチレータ等を提供する。 【解決手段】シンチレータSは、サファイア基板6と、サファイア基板6に対して入射側に設けられGaNを含むGaN層4と、GaN層4に対して入射側に設けられた量子井戸構造3と、量子井戸構造3に対して入射側に設けられた導電層2とを備え、量子井戸構造3において、InGaNを含む複数の発光層21と、GaNを含む複数の障壁層22とが交互に積層されており、量子井戸構造3と導電層2との間には、酸素を含む酸素含有層23が設けられる。 【選択図】図1
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