发明专利
JP2021136244A 半導体記憶装置
审中-公开
- 专利标题: 半導体記憶装置
- 专利标题(英): SEMICONDUCTOR STORAGE DEVICE
-
申请号: JP2020028746申请日: 2020-02-21
-
公开(公告)号: JP2021136244A公开(公告)日: 2021-09-13
- 发明人: 岩崎 太一
- 申请人: キオクシア株式会社
- 申请人地址: 東京都港区芝浦三丁目1番21号
- 专利权人: キオクシア株式会社
- 当前专利权人: キオクシア株式会社
- 当前专利权人地址: 東京都港区芝浦三丁目1番21号
- 代理商 きさらぎ国際特許業務法人
- 主分类号: H01L27/11556
- IPC分类号: H01L27/11556 ; H01L21/336 ; H01L29/788 ; H01L29/792 ; H01L27/11582
摘要:
【課題】高集積化の容易な半導体記憶装置を提供する。 【解決手段】半導体記憶装置は、第1方向に互いに離間して配設され第1方向と交差する第2方向に延びる複数の第1導電層110Aと、複数の第1導電層と第1方向に離間して配設され第2方向に延びる第2導電層110Bと、第1方向に延伸し、複数の第1導電層及び第2導電層と対向する半導体層120と、複数の第1導電層及び第2導電層と半導体層との間に設けられたゲート絶縁層130と、複数の第1導電層及び第2導電層内を第1方向及び第2方向に延伸し、複数の第1導電層及び第2導電層を第1方向及び第2方向と交差する第3方向に分断する複数の第1絶縁部STと、第2導電層内を第1方向及び第2方向に延伸し、第3方向に隣接する第1絶縁部の間で、第2導電層を第3方向に2つ以上に分断する複数の第2絶縁部SHEと、を備え、複数の第1導電層は、第3方向に隣接する第1絶縁部の間で各層毎に連続して第1材料から形成され、第2導電層は、第1材料とは異なる第2材料から形成される。 【選択図】図8
信息查询
IPC分类: