发明专利
- 专利标题： レジスト用途の光酸発生剤としての環状スルホン酸エステル化合物
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申请号： JP2020547339申请日： 2019-03-14
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公开(公告)号： JP2021517562A公开(公告)日： 2021-07-26
- 发明人: チャン ヨンチアン , シャーマ ラム ビー.
- 申请人： ヘレウス エプリオ エルエルシー
- 申请人地址： アメリカ合衆国 オハイオ州 ヴァンダリア インダストリアル パーク ドライブ 970
- 专利权人： ヘレウス エプリオ エルエルシー
- 当前专利权人： ヘレウス エプリオ エルエルシー
- 当前专利权人地址： アメリカ合衆国 オハイオ州 ヴァンダリア インダストリアル パーク ドライブ 970
- 代理商 関口 正夫
- 优先权： US62/644,288 2018-03-16
- 国际申请： US2019022252 JP 2019-03-14
- 国际公布： WO2019178344 JP 2019-09-19
- 主分类号： C07C381/12
- IPC分类号： C07C381/12 ; C09K3/00 ; C07C309/10
摘要：
新規な光酸発生剤化合物を提供する。その新規な光酸発生剤化合物を含む組成物も提供する。本開示はさらに、本明細書に開示されている光酸発生剤化合物及び光酸発生剤組成物の作製方法及び使用方法を提供する。その化合物及び組成物は、様々な微細加工用途における化学増幅レジスト組成物中の光活性成分として有用である。 【選択図】なし
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