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发明专利
レジスト用途の光酸発生剤としての環状スルホン酸エステル化合物审中-公开

公开(公告)号：JP2021517562A

公开(公告)日：2021-07-26

申请号：JP2020547339

申请日：2019-03-14

申请人： ヘレウスエプリオエルエルシー

发明人： チャンヨンチアン , シャーマラムビー.

IPC分类号： C07C381/12 , C09K3/00 , C07C309/10

摘要： 新規な光酸発生剤化合物を提供する。その新規な光酸発生剤化合物を含む組成物も提供する。本開示はさらに、本明細書に開示されている光酸発生剤化合物及び光酸発生剤組成物の作製方法及び使用方法を提供する。その化合物及び組成物は、様々な微細加工用途における化学増幅レジスト組成物中の光活性成分として有用である。【選択図】なし