- 专利标题: 炭化ケイ素上のMOSFETチャネルにおけるキャリアの移動度を改善する装置
-
申请号: JP2021538930申请日: 2019-09-06
-
公开(公告)号: JP2022501838A公开(公告)日: 2022-01-06
- 发明人: トレグロッサ、フランク , ルー、ローラン , ゴディニョン、フィリップ
- 申请人: イオン ビーム サービス , セ・エネ・エメ−セ・エセ・イ・セ , CNM−CSIC
- 申请人地址: フランス国,エフ−13790 ペイニア ル ガストン アンベール プロロジー,ジ ペイニア−ルーセット
- 专利权人: イオン ビーム サービス,セ・エネ・エメ−セ・エセ・イ・セ,CNM−CSIC
- 当前专利权人: イオン ビーム サービス,セ・エネ・エメ−セ・エセ・イ・セ,CNM−CSIC
- 当前专利权人地址: フランス国,エフ−13790 ペイニア ル ガストン アンベール プロロジー,ジ ペイニア−ルーセット
- 代理商 伏見 直哉
- 优先权: FR1800976 2018-09-17
- 国际申请: FR2019052055 JP 2019-09-06
- 国际公布: WO2020058597 JP 2020-03-26
- 主分类号: H01L29/78
- IPC分类号: H01L29/78 ; H01L21/336
摘要:
本発明は、基板(10)上に配置されたMOSFET装置に関する。該装置は、第1及び第2の接点(13及び15)に覆われ、重度にドーピングされた第1及び第2のストリップ(11及び14)を備え、上記の2個のストリップは、該基板(10)上に存在するチャネル(18)によって隔てられ、該チャネルは絶縁層(20)に覆われ、該絶縁層の上には第3の接点(21)が備わる。該装置は、該チャネルは該絶縁層との境界に軽度にドーピングされた薄膜(19)を備え、該薄膜は該チャネルと同じ型のドーピング原子を備え、該ドーピング原子は該境界の両側に分布することを特徴とする。 【選択図】図1
信息查询
IPC分类: