Invention Patent
- Patent Title: Method for forming out-of-plane structure, a device having a planar outer structure and the out-of-plane structure
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Application No.: JP2002029410Application Date: 2002-02-06
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Publication No.: JP3981278B2Publication Date: 2007-09-26
- Inventor: エフ ファン シューレンベルグ コエンラド , ケー フォーク デービッド , メイ ピン
- Applicant: ゼロックス コーポレイションXerox Corporation
- Assignee: ゼロックス コーポレイションXerox Corporation
- Current Assignee: ゼロックス コーポレイションＸｅｒｏｘ Ｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ
- Priority: US78016301 2001-02-09
- Main IPC: G03F7/20
- IPC: G03F7/20 ; H01F41/04 ; B81B1/00 ; B81B3/00 ; B81C1/00 ; B81C3/00 ; H01F17/00 ; H01F17/02 ; H01F27/00 ; H01L21/48 ; H01L21/60 ; H01L23/522 ; H01L27/08 ; H05K3/40
Public/Granted literature
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IPC分类:
