- 专利标题： Radiation source for target generation and supply equipment
- 专利标题（中）： 空值
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申请号： JP2005291890申请日： 2005-10-05
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公开(公告)号： JP5176052B2公开(公告)日： 2013-04-03
- 发明人: 圭治 長井 , 忠澤 顧
- 申请人： 国立大学法人大阪大学
- 专利权人： 国立大学法人大阪大学
- 当前专利权人： 国立大学法人大阪大学
- 优先权： JP2005291890 2005-10-05
- 主分类号： H05G2/00
- IPC分类号： H05G2/00 ; G21K5/08 ; H01L21/027
公开/授权文献
- JP2007103176A Target generating/supplying device for radiation source 公开/授权日：2007-04-19
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