Invention Patent
- Patent Title: プローバ及びプローブカードの針先研磨装置
- Patent Title (English): JP6262547B2 - Needlepoint polishing apparatus of the prober and a probe card
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Application No.: JP2014009725Application Date: 2014-01-22
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Publication No.: JP6262547B2Publication Date: 2018-01-17
- Inventor: 矢野 和哉 , 秋山 収司
- Applicant: 東京エレクトロン株式会社
- Applicant Address: 東京都港区赤坂五丁目3番1号
- Assignee: 東京エレクトロン株式会社
- Current Assignee: 東京エレクトロン株式会社
- Current Assignee Address: 東京都港区赤坂五丁目3番1号
- Agent 別役 重尚; 村松 聡
- Main IPC: G01R1/073
- IPC: G01R1/073 ; G01R31/26 ; H01L21/66
Public/Granted literature
- JP1543041S JP1543041S - Public/Granted day:2016-02-01
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