- 专利标题： マイクロリソグラフィ投影露光系の照明系及びそのような照明系を作動させる方法
- 专利标题（英）： JP6407296B2 - Method of operating an illumination system and such an illumination system of a microlithographic projection exposure system
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申请号： JP2016553306申请日： 2015-02-10
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公开(公告)号： JP6407296B2公开(公告)日： 2018-10-17
- 发明人: デギュンター マルクス , ダヴィデンコ ウラディミール , コルブ トーマス , アイゼンメンガー ヨハネス
- 申请人： カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー
- 申请人地址： ドイツ連邦共和国、73447 オーバーコッヘン、ルドルフ・エーバー・シュトラーセ 2
- 专利权人： カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー
- 当前专利权人： カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー
- 当前专利权人地址： ドイツ連邦共和国、73447 オーバーコッヘン、ルドルフ・エーバー・シュトラーセ 2
- 代理商 西島 孝喜; 弟子丸 健; 田中 伸一郎; 大塚 文昭; 須田 洋之; 上杉 浩; 近藤 直樹; 岸 慶憲
- 优先权： DE102014203041.2 2014-02-19
- 国际申请： EP2015000273 JP 2015-02-10
- 国际公布： WO2015124270 JP 2015-08-27
- 主分类号： G02B5/08
- IPC分类号： G02B5/08 ; G03F7/20
公开/授权文献
- JP2017507355A マイクロリソグラフィ投影露光系の照明系及びそのような照明系を作動させる方法 公开/授权日：2017-03-16
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