カーボンナノチューブ(CNT)連続製造装置
摘要:
【課題】装置の構成が簡単で、かつトレイの搬送機構が反応炉を貫通することのない小型化されたCNTの製造に好適なCNT連続製造装置を提供する 【解決手段】昇温域200、反応域100、冷却域300を備えたカーボンナノチューブ(CNT)成長用の反応炉500の反応域内に始端及び終端を有し、互いに平行に設置され、CNTを成長させる基板を保持するトレイ110を第1位置に載置する固定ガイド部材102と;昇温域内に始端を有し、冷却域内に終端を有し、固定ガイド部材に沿って平行に設置され、固定ガイド部材上に載置されたトレイを所定のタイミングでピックアップして移動させる移動ガイド部材104と;移動ガイド部材の始端と終端とをそれぞれ回動可能に把持し、同期して同一方向に回動することにより、固定ガイド部材上に載置されているトレイを第1位置から第2位置に移動させる移動ガイド駆動機構106a,106bと;を備える。 【選択図】図1
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