Invention Patent
JPWO2018134966A1 レーザ装置
审中-公开
- Patent Title: レーザ装置
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Application No.: JP2017001924Application Date: 2017-01-20
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Publication No.: JPWO2018134966A1Publication Date: 2019-01-31
- Inventor: 京藤 友博 , 西前 順一 , 桂 智毅 , 森田 大嗣
- Applicant: 三菱電機株式会社
- Applicant Address: 東京都千代田区丸の内二丁目7番3号
- Assignee: 三菱電機株式会社
- Current Assignee: 三菱電機株式会社
- Current Assignee Address: 東京都千代田区丸の内二丁目7番3号
- Agent 高村 順
- Main IPC: H01S5/14
- IPC: H01S5/14
Abstract:
互いに波長の異なるレーザビームを発生する複数のレーザ媒質(11)と、複数のレーザ媒質(11)のそれぞれから出射されるレ−ザビームを重畳レンズ(2)により分散素子(3)上に1つに重畳させて結合するレーザ装置(100−1)であって、分散素子(3)は、重畳レンズ(2)により複数のレーザビームが1つに重畳された位置に設置されると共に、複数のレーザビームの一部を第1のレーザビームとしてレーザ媒質(11)側へ戻し、複数のレーザビームの一部を1つの光軸を有する第2のレーザビームとして出力する。
Public/Granted literature
- JP6726821B2 半導体装置の製造方法 Public/Granted day:2020-07-22
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