다층형 캐리어 필름 및 이를 이용한 소자 전사 방법과 이 방법을 이용하여 전자제품을 제조하는 전자제품 제조방법
摘要:
본발명은반도체, 디스플레이, 태양전지, 센서등에장착되는소자를소스기판에서타켓기판으로전사하기위한다층형캐리어필름및 이를이용한소자전사방법과이 방법을이용하여전자제품을제조하는전자제품제조방법에관한것으로서, 본발명에따른다층형캐리어필름은베이스필름과, 변형층과, 경질층을포함하고, 이를이용한소자전사방법은피킹단계와, 경화단계와, 플레이싱단계를포함한다. 본발명에따른다층형캐리어필름및 이를이용한소자전사방법은소스기판에있는소자를다층형캐리어필름에 1차적으로점착시키고, 다층형캐리어필름에구성된변형층의경도변화를통해다층형캐리어필름과소자사이의점착력을조절하여다층형캐리어필름에점착된소자를타켓기판에 2차적으로점착시키는것을특징으로한다. 또한, 본발명의다층형캐리어필름을이용한소자전사방법을이용하여전자제품을제조하는전자제품제조방법은다층형캐리어필름을이용한소자전사방법을이용하여다수의소자를평판상에전사하여전자제품을제조하는것을특징으로한다.
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