웨이퍼 가공용 테이프
摘要:
프리컷가공된웨이퍼가공용테이프를롤 상태에서보관하였을때, 라벨부가웨이퍼가공용테이프의배면과블로킹하는것을억제하고, 롤상태로부터라벨부를양호하게조출할수 있는웨이퍼가공용테이프를제공한다. 장척의(긴) 이형필름(11)과, 이형필름(11)의제1 면(11a) 상에설치된링 프레임(R)에대응하는소정형상을갖는라벨부(12a)와, 라벨부(12a)의외측을둘러싸는주변부(12b)를갖는점착필름(12)과, 이형필름(11)의짧은변 방향양단부이며, 점착필름(12)이설치된제1 면(11a)과는반대인제2 면(11b) 상에설치된지지부재(13)를갖고, 점착필름(12)은이형필름(11)에접촉하고있지않은측의산술표면조도 Ra가 0.3㎛이하이고, 지지부재(13)는두께가 30 내지 150㎛인것을특징으로한다.
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