Invention Patent
TW201444031A 半導體裝置及其製造方法 审中-公开
半导体设备及其制造方法

半導體裝置及其製造方法
Abstract:
本發明提供一種半導體裝置及其製造方法,提高半導體裝置之可靠度。半導體裝置,具備:晶片焊墊6;SiC晶片1,搭載於晶片焊墊6;第1燒結Ag層16,將晶片焊墊6與SiC晶片1接合;以及補強樹脂部17,覆蓋第1燒結Ag層16的表面,且形成為填角狀。更具有:源極導線9,與SiC晶片1之源極電極2電性連接;閘極導線,與閘極電極3電性連接;汲極導線,與汲極電極4電性連接;以及密封體14,覆蓋SiC晶片1、第1燒結Ag層16及晶片焊墊6的一部分;補強樹脂部17,覆蓋SiC晶片1之側面1c的一部分。
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