Invention Patent
- Patent Title: 具有指示線之晶圓映對程序控制
- Patent Title (English): Wafer mapping process control with indicator line
- Patent Title (中): 具有指示线之晶圆映对进程控制
-
Application No.: TW103108547Application Date: 2014-03-12
-
Publication No.: TW201448088APublication Date: 2014-12-16
- Inventor: 吉布森 馬修 , GIBSON, MATTHEW , 那 南奇威 普瑞 , NA-NAMCHIEW, PREM , 肯阿南太儂 艾克加洽 , KENGANANTANON, EKGACHAI , 邦克 馬修 , BUNKER, MATTHEW
- Applicant: 微晶片科技公司 , MICROCHIP TECHNOLOGY INCORPORATED
- Assignee: 微晶片科技公司,MICROCHIP TECHNOLOGY INCORPORATED
- Current Assignee: 微晶片科技公司,MICROCHIP TECHNOLOGY INCORPORATED
- Agent 陳長文
- Priority: 61/777,638 20130312;14/197,625 20140305
- Main IPC: H01L21/67
- IPC: H01L21/67
Abstract:
本發明揭示一種用於在一晶粒拾取程序中提供對準之方法,該方法可包含:基於一參考晶粒對準一半導體晶圓;藉由沿著跨越該晶圓延伸之一線拾取若干個晶粒來相對於該參考晶粒形成一指示線;及使用該參考線來監視拾取機器相對於該晶圓之一位置。一晶粒附接機器可包含用於自動實施此方法之一控制系統。
Public/Granted literature
- TWI645486B 具有指示線之晶圓映對程序控制 Public/Granted day:2018-12-21
Information query
IPC分类: