Invention Patent
TW201448088A 具有指示線之晶圓映對程序控制 审中-公开
具有指示线之晶圆映对进程控制

具有指示線之晶圓映對程序控制
Abstract:
本發明揭示一種用於在一晶粒拾取程序中提供對準之方法,該方法可包含:基於一參考晶粒對準一半導體晶圓;藉由沿著跨越該晶圓延伸之一線拾取若干個晶粒來相對於該參考晶粒形成一指示線;及使用該參考線來監視拾取機器相對於該晶圓之一位置。一晶粒附接機器可包含用於自動實施此方法之一控制系統。
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