公开(公告)号：TWI645486B

公开(公告)日：2018-12-21

申请号：TW103108547

申请日：2014-03-12

Applicant: 微晶片科技公司 ,  MICROCHIP TECHNOLOGY INCORPORATED

Inventor： 吉布森 馬修 ,  GIBSON, MATTHEW ,  那 南奇威 普瑞 ,  NA-NAMCHIEW, PREM ,  肯阿南太儂 艾克加洽 ,  KENGANANTANON, EKGACHAI ,  邦克 馬修 ,  BUNKER, MATTHEW

IPC: H01L21/67

公开(公告)号：TW201448088A

公开(公告)日：2014-12-16

申请号：TW103108547

申请日：2014-03-12

Applicant: 微晶片科技公司 ,  MICROCHIP TECHNOLOGY INCORPORATED

Inventor： 吉布森 馬修 ,  GIBSON, MATTHEW ,  那 南奇威 普瑞 ,  NA-NAMCHIEW, PREM ,  肯阿南太儂 艾克加洽 ,  KENGANANTANON, EKGACHAI ,  邦克 馬修 ,  BUNKER, MATTHEW

IPC: H01L21/67

CPC classification number: H01L23/544 ,  H01L21/67132 ,  H01L21/67259 ,  H01L21/68 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

Abstract: 本發明揭示一種用於在一晶粒拾取程序中提供對準之方法，該方法可包含：基於一參考晶粒對準一半導體晶圓；藉由沿著跨越該晶圓延伸之一線拾取若干個晶粒來相對於該參考晶粒形成一指示線；及使用該參考線來監視拾取機器相對於該晶圓之一位置。一晶粒附接機器可包含用於自動實施此方法之一控制系統。

Abstract in simplified Chinese: 本发明揭示一种用于在一晶粒十取进程中提供对准之方法，该方法可包含：基于一参考晶粒对准一半导体晶圆；借由沿着跨越该晶圆延伸之一线十取若干个晶粒来相对于该参考晶粒形成一指示线；及使用该参考线来监视十取机器相对于该晶圆之一位置。一晶粒附接机器可包含用于自动实施此方法之一控制系统。