发明专利
TW201523125A 大型薄膜之框體及該框體之取持方法 审中-公开
大型薄膜之框体及该框体之取持方法

大型薄膜之框體及該框體之取持方法
摘要:
本發明之大型薄膜組係包含:具有由複數個邊所構成之多角形形狀之框體、接著於該框體之上緣面上之薄膜、以及塗附於該框體之下緣面上之黏著材,且上述框體之最長邊之長度為1m以上,該大型薄膜之上述框體在其所有邊部上,分別具有對上述框體進行取持之取持搬運用的凸部或凹部,於上述框體之各邊部上,分別同時取持至少1處以上之取持搬運用的凸部或凹部,藉此能夠可靠地取持框體,而且,在欲將薄膜貼附於光罩等上時,可自收納容器中簡單地取出薄膜,而不會產生翹曲或彎曲。
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