发明专利
- 专利标题: 大型薄膜之框體及該框體之取持方法
- 专利标题(英): Large pellicle frame and a method for holding such a frame
- 专利标题(中): 大型薄膜之框体及该框体之取持方法
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申请号: TW104105935申请日: 2008-07-04
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公开(公告)号: TW201523125A公开(公告)日: 2015-06-16
- 发明人: 谷村彰浩 , TANIMURA, AKIHIRO , 前田拓郎 , MAEDA, TAKURO
- 申请人: 旭化成電子材料元件股份有限公司 , ASAHI KASEI EMD CORPORATION
- 专利权人: 旭化成電子材料元件股份有限公司,ASAHI KASEI EMD CORPORATION
- 当前专利权人: 旭化成電子材料元件股份有限公司,ASAHI KASEI EMD CORPORATION
- 代理商 陳長文
- 优先权: 2007-179041 20070706;2007-179054 20070706
- 主分类号: G03F1/00
- IPC分类号: G03F1/00
摘要:
本發明之大型薄膜組係包含:具有由複數個邊所構成之多角形形狀之框體、接著於該框體之上緣面上之薄膜、以及塗附於該框體之下緣面上之黏著材,且上述框體之最長邊之長度為1m以上,該大型薄膜之上述框體在其所有邊部上,分別具有對上述框體進行取持之取持搬運用的凸部或凹部,於上述框體之各邊部上,分別同時取持至少1處以上之取持搬運用的凸部或凹部,藉此能夠可靠地取持框體,而且,在欲將薄膜貼附於光罩等上時,可自收納容器中簡單地取出薄膜,而不會產生翹曲或彎曲。
公开/授权文献
- TWI641904B 大型薄膜之框體之取持方法 公开/授权日:2018-11-21
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