公开(公告)号：TWI641904B

公开(公告)日：2018-11-21

申请号：TW104105935

申请日：2008-07-04

申请人： 旭化成電子材料元件股份有限公司 ,  ASAHI KASEI EMD CORPORATION

发明人： 谷村彰浩 ,  TANIMURA, AKIHIRO ,  前田拓郎 ,  MAEDA, TAKURO

IPC分类号： G03F1/64

公开(公告)号：TW201523125A

公开(公告)日：2015-06-16

申请号：TW104105935

申请日：2008-07-04

申请人： 旭化成電子材料元件股份有限公司 ,  ASAHI KASEI EMD CORPORATION

发明人： 谷村彰浩 ,  TANIMURA, AKIHIRO ,  前田拓郎 ,  MAEDA, TAKURO

IPC分类号： G03F1/00

CPC分类号： G03F1/64 ,  G03F7/70783 ,  G03F7/70791 ,  G03F7/70983

摘要： 本發明之大型薄膜組係包含：具有由複數個邊所構成之多角形形狀之框體、接著於該框體之上緣面上之薄膜、以及塗附於該框體之下緣面上之黏著材，且上述框體之最長邊之長度為1m以上，該大型薄膜之上述框體在其所有邊部上，分別具有對上述框體進行取持之取持搬運用的凸部或凹部，於上述框體之各邊部上，分別同時取持至少1處以上之取持搬運用的凸部或凹部，藉此能夠可靠地取持框體，而且，在欲將薄膜貼附於光罩等上時，可自收納容器中簡單地取出薄膜，而不會產生翹曲或彎曲。

简体摘要： 本发明之大型薄膜组系包含：具有由复数个边所构成之多角形形状之框体、接着于该框体之上缘面上之薄膜、以及涂附于该框体之下缘面上之黏着材，且上述框体之最长边之长度为1m以上，该大型薄膜之上述框体在其所有边部上，分别具有对上述框体进行取持之取持搬运用的凸部或凹部，于上述框体之各边部上，分别同时取持至少1处以上之取持搬运用的凸部或凹部，借此能够可靠地取持框体，而且，在欲将薄膜贴附于光罩等上时，可自收纳容器中简单地取出薄膜，而不会产生翘曲或弯曲。

公开(公告)号：TWI392967B

公开(公告)日：2013-04-11

申请号：TW097108447

申请日：2008-03-11

申请人： 旭化成電子材料元件股份有限公司 ,  ASAHI KASEI EMD CORPORATION

发明人： 秦洋介 ,  HATA, YOSUKE

IPC分类号： G03F7/031 ,  H01L21/027 ,  H05K3/00

CPC分类号： G03F7/033 ,  G03F7/031 ,  G03F7/161

公开(公告)号：TWI380130B

公开(公告)日：2012-12-21

申请号：TW097131356

申请日：2008-08-15

申请人： 旭化成電子材料元件股份有限公司

发明人： 馬場幸雅

IPC分类号： G03F ,  C08F ,  H05K ,  H01L

CPC分类号： G03F7/027 ,  G03F7/033

摘要： 一種感光性樹脂組合物，其含有20~90質量%之(a)鹼溶性高分子，上述鹼溶性高分子含有羧酸，其酸當量為100~600、重量平均分子量為5,000~500,000；5~70質量%之(b)特定之乙烯性不飽和加成聚合性單體；0.01~30質量%之(c)光聚合起始劑。

简体摘要： 一种感光性树脂组合物，其含有20~90质量%之(a)碱溶性高分子，上述碱溶性高分子含有羧酸，其酸当量为100~600、重量平均分子量为5,000~500,000；5~70质量%之(b)特定之乙烯性不饱和加成聚合性单体；0.01~30质量%之(c)光聚合起始剂。

公开(公告)号：TWI376529B

公开(公告)日：2012-11-11

申请号：TW096108819

申请日：2007-03-14

申请人： 旭化成電子材料元件股份有限公司

发明人： 小谷雄三

IPC分类号： G02B ,  G03F

CPC分类号： G03F7/032 ,  G03F7/0007 ,  G03F7/0388

摘要： 本發明之目的在於提供一種感光性樹脂積層體，其於形成樹脂黑矩陣時，光敏度、遮光性、細線密著性、過顯影時之線寬穩定性、轉印性、生產性優異，進而，提供一種形成彩色像素時光敏度較高的感光性樹脂積層體。
一種感光性樹脂積層體，其係至少積層支撐層與感光性樹脂層而成，該感光性樹脂層包含感光性樹脂組合物，其含有：以下述式(I)所表示之鹼性可溶性高分子3~40質量%、特定之鹼性可溶性高分子1~40質量%、具有乙烯性不飽和雙鍵之光聚合性化合物3~25質量%、光聚合引發劑0.1~20質量%、著色顏料40~70質量%，並且，該以式(I)所表示之鹼性可溶性高分子：特定之鹼性可溶性高分子(質量比)＝1：5~16：1。

简体摘要： 本发明之目的在于提供一种感光性树脂积层体，其于形成树脂黑矩阵时，光敏度、遮光性、细线密着性、过显影时之线宽稳定性、转印性、生产性优异，进而，提供一种形成彩色像素时光敏度较高的感光性树脂积层体。 一种感光性树脂积层体，其系至少积层支撑层与感光性树脂层而成，该感光性树脂层包含感光性树脂组合物，其含有：以下述式(I)所表示之碱性可溶性高分子3~40质量%、特定之碱性可溶性高分子1~40质量%、具有乙烯性不饱和双键之光聚合性化合物3~25质量%、光聚合引发剂0.1~20质量%、着色颜料40~70质量%，并且，该以式(I)所表示之碱性可溶性高分子：特定之碱性可溶性高分子(质量比)＝1：5~16：1。

公开(公告)号：TWI375126B

公开(公告)日：2012-10-21

申请号：TW097111108

申请日：2008-03-27

申请人： 旭化成電子材料元件股份有限公司

发明人： 賴末友裕

IPC分类号： G03F

CPC分类号： C08F290/08 ,  C08F283/12 ,  C08F290/00 ,  C08G77/20 ,  C08G77/58 ,  C08L83/06 ,  C09D183/14 ,  G03F7/0757 ,  Y10T428/24612

摘要： 本發明使用一種以特定比例包含具有特定感光性取代基之特定分子量之感光性聚矽氧化合物以及光聚合起始劑的感光性樹脂組合物。於是，可獲得一種適合用作LSI晶片之緩衝層材料或再配線層的、含有硬化前後之膜耗少、且曝光前之材料黏性得到改善之感光性聚矽氧化合物的樹脂組合物，及使用其之樹脂絕緣膜。

简体摘要： 本发明使用一种以特定比例包含具有特定感光性取代基之特定分子量之感光性聚硅氧化合物以及光聚合起始剂的感光性树脂组合物。于是，可获得一种适合用作LSI芯片之缓冲层材料或再配线层的、含有硬化前后之膜耗少、且曝光前之材料黏性得到改善之感光性聚硅氧化合物的树脂组合物，及使用其之树脂绝缘膜。

公开(公告)号：TWI375125B

公开(公告)日：2012-10-21

申请号：TW097111085

申请日：2008-03-27

申请人： 旭化成電子材料元件股份有限公司

发明人： 賴末友裕

IPC分类号： G03F ,  H01L

CPC分类号： C08F299/00 ,  C08F290/148 ,  C08F299/08 ,  C08G77/20 ,  C08G77/58 ,  C08G77/70 ,  C09D183/14 ,  G03F7/029 ,  G03F7/0757

摘要： 本發明使用一種包含具有苯乙烯基作為感光基之感光性聚矽氧化合物、以及特定結構之光聚合起始劑的感光性樹脂組合物。藉此，提供一種適合用作LSI晶片之緩衝層材料或再配線層之可於空氣中進行光聚合硬化的感光性樹脂組合物，以及使用感光性樹脂組合物之硬化凸紋圖案之形成方法，及具有硬化凸紋圖案之半導體裝置。

简体摘要： 本发明使用一种包含具有苯乙烯基作为感光基之感光性聚硅氧化合物、以及特定结构之光聚合起始剂的感光性树脂组合物。借此，提供一种适合用作LSI芯片之缓冲层材料或再配线层之可于空气中进行光聚合硬化的感光性树脂组合物，以及使用感光性树脂组合物之硬化凸纹图案之形成方法，及具有硬化凸纹图案之半导体设备。

公开(公告)号：TWI374924B

公开(公告)日：2012-10-21

申请号：TW097130122

申请日：2008-08-07

申请人： 旭化成電子材料元件股份有限公司

发明人： 橫山明典

IPC分类号： C09J ,  H01B ,  H01R

CPC分类号： H01R11/01 ,  C08L63/00 ,  H01B1/22 ,  H01R4/04 ,  H01R13/03 ,  H05K3/323 ,  H05K2201/0162

摘要： 本發明之目的在於提供一種接著劑，其即使在低溫下加熱硬化，初期及信賴性試驗後之接著性依然優良。使用以含有具有黏著特性之矽酮化合物、環氧樹脂、苯氧基樹脂、及硬化劑為特徵之接著劑。含有導電粒子0.1體積%以上未達30體積%，可作為各向異性導電性接著劑，含有導電粒子30體積%以上80體積%以下，可作為導電性接著劑。導電粒子之平均粒徑宜為1~20μm。

简体摘要： 本发明之目的在于提供一种接着剂，其即使在低温下加热硬化，初期及信赖性试验后之接着性依然优良。使用以含有具有黏着特性之硅酮化合物、环氧树脂、苯氧基树脂、及硬化剂为特征之接着剂。含有导电粒子0.1体积%以上未达30体积%，可作为各向异性导电性接着剂，含有导电粒子30体积%以上80体积%以下，可作为导电性接着剂。导电粒子之平均粒径宜为1~20μm。

公开(公告)号：TW200949433A

公开(公告)日：2009-12-01

申请号：TW097150274

申请日：2008-12-23

申请人： 旭化成電子材料元件股份有限公司

发明人： 西本秀昭

IPC分类号： G03F ,  C08F ,  H05K

CPC分类号： G03F7/027 ,  G03F7/033

摘要： 本發明提供一種感光性樹脂積層體，該感光性樹脂積層體即便於感光性樹脂層之厚度薄至3～15 μm時、且即便於利用直接繪圖曝光進行曝光時，蓋孔性亦良好，而且顯影時之凝聚物並非為油狀。該感光性樹脂積層體之特徵在於：其係至少積層有支持層及感光性樹脂層而成者，並且該感光性樹脂層係包含感光性樹脂組合物，該感光性樹脂組合物至少包含：(a)鹼溶性樹脂25~64質量％；(b)具有光可聚合之不飽和雙鍵之化合物；(c)光聚合起始劑0.1~20質量％；且進而滿足以下之(i)、(ii)及(iii)：(i)包含相對於感光性樹脂組合物之總量為30~55質量％的特定之可光可聚合之不飽和化合物；(ii)上述(a)鹼溶性樹脂之重量平均分子量為70,000~220,000，酸當量為100~600；(iii)感光性樹脂層之厚度為3~15 μm。

简体摘要： 本发明提供一种感光性树脂积层体，该感光性树脂积层体即便于感光性树脂层之厚度薄至3～15 μm时、且即便于利用直接绘图曝光进行曝光时，盖孔性亦良好，而且显影时之凝聚物并非为油状。该感光性树脂积层体之特征在于：其系至少积层有支持层及感光性树脂层而成者，并且该感光性树脂层系包含感光性树脂组合物，该感光性树脂组合物至少包含：(a)碱溶性树脂25~64质量％；(b)具有光可聚合之不饱和双键之化合物；(c)光聚合起始剂0.1~20质量％；且进而满足以下之(i)、(ii)及(iii)：(i)包含相对于感光性树脂组合物之总量为30~55质量％的特定之可光可聚合之不饱和化合物；(ii)上述(a)碱溶性树脂之重量平均分子量为70,000~220,000，酸当量为100~600；(iii)感光性树脂层之厚度为3~15 μm。

公开(公告)号：TW200947135A

公开(公告)日：2009-11-16

申请号：TW098103094

申请日：2009-01-23

申请人： 旭化成電子材料元件股份有限公司

发明人： 五十嵐勉

IPC分类号： G03F ,  C08F ,  C08G ,  H05K

CPC分类号： G03F7/11 ,  G03F7/027 ,  G03F7/161

摘要： 本發明提供一種感光性樹脂積層體，其在支持膜之剝離性方面無問題、層壓時之追隨性良好、在顯影後之硬化光阻圖案上無側壁的不平或表面的凹陷而良好、且顯影後之沉渣極小。該感光性樹脂積層體之特徵在於：其係於支持膜上依序積層層厚為10μm以上、且100μm以下之第一層、層厚為0.1μm以上、且10μm以下之第二層及感光性樹脂層而成者，該第二層係混合並含有聚乙烯醇與選自特定之化合物群中的一種以上化合物而成。

简体摘要： 本发明提供一种感光性树脂积层体，其在支持膜之剥离性方面无问题、层压时之追随性良好、在显影后之硬化光阻图案上无侧壁的不平或表面的凹陷而良好、且显影后之沉渣极小。该感光性树脂积层体之特征在于：其系于支持膜上依序积层层厚为10μm以上、且100μm以下之第一层、层厚为0.1μm以上、且10μm以下之第二层及感光性树脂层而成者，该第二层系混合并含有聚乙烯醇与选自特定之化合物群中的一种以上化合物而成。