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    大型薄膜之框體及該框體之取持方法
    3.
    发明专利
    大型薄膜之框體及該框體之取持方法 审中-公开
    大型薄膜之框体及该框体之取持方法

    公开(公告)号：TW201523125A

    公开(公告)日：2015-06-16

    申请号：TW104105935

    申请日：2008-07-04

    申请人： 旭化成電子材料元件股份有限公司 ,  ASAHI KASEI EMD CORPORATION

    发明人： 谷村彰浩 ,  TANIMURA, AKIHIRO ,  前田拓郎 ,  MAEDA, TAKURO

    IPC分类号： G03F1/00

    CPC分类号： G03F1/64 ,  G03F7/70783 ,  G03F7/70791 ,  G03F7/70983

    摘要： 本發明之大型薄膜組係包含：具有由複數個邊所構成之多角形形狀之框體、接著於該框體之上緣面上之薄膜、以及塗附於該框體之下緣面上之黏著材，且上述框體之最長邊之長度為1m以上，該大型薄膜之上述框體在其所有邊部上，分別具有對上述框體進行取持之取持搬運用的凸部或凹部，於上述框體之各邊部上，分別同時取持至少1處以上之取持搬運用的凸部或凹部，藉此能夠可靠地取持框體，而且，在欲將薄膜貼附於光罩等上時，可自收納容器中簡單地取出薄膜，而不會產生翹曲或彎曲。

    简体摘要： 本发明之大型薄膜组系包含：具有由复数个边所构成之多角形形状之框体、接着于该框体之上缘面上之薄膜、以及涂附于该框体之下缘面上之黏着材，且上述框体之最长边之长度为1m以上，该大型薄膜之上述框体在其所有边部上，分别具有对上述框体进行取持之取持搬运用的凸部或凹部，于上述框体之各边部上，分别同时取持至少1处以上之取持搬运用的凸部或凹部，借此能够可靠地取持框体，而且，在欲将薄膜贴附于光罩等上时，可自收纳容器中简单地取出薄膜，而不会产生翘曲或弯曲。