发明专利
- 专利标题: 橫向超級接面金氧半場效電晶體元件及端接結構
- 专利标题(英): Lateral super-junction MOSFET device and termination structure
- 专利标题(中): 横向超级接面金氧半场效应管组件及端接结构
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申请号: TW105118344申请日: 2016-06-13
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公开(公告)号: TW201712860A公开(公告)日: 2017-04-01
- 发明人: 博多 馬督兒 , BOBDE, MADHUR , 管靈鵬 , GUAN, LINGPENG , 帕德馬納班 凱西克 , PADMANABHAN, KARTHIK , 耶爾馬茲 哈姆紮 , YILMAZ, HAMZA
- 申请人: 萬國半導體股份有限公司 , ALPHA AND OMEGA SEMICONDUCTOR INCORPORATED
- 专利权人: 萬國半導體股份有限公司,ALPHA AND OMEGA SEMICONDUCTOR INCORPORATED
- 当前专利权人: 萬國半導體股份有限公司,ALPHA AND OMEGA SEMICONDUCTOR INCORPORATED
- 代理商 葉大慧
- 优先权: 14/747,925 20150623
- 主分类号: H01L29/10
- IPC分类号: H01L29/10 ; H01L29/40 ; H01L29/78 ; H01L29/06 ; H01L29/08
摘要:
本發明涉及一種金氧半場效電晶體(MOSFET)元件及端接結構,尤其涉及一種橫向超級接面金氧半場效電晶體元件及端接結構;一種橫向超級接面金氧半場效電晶體元件包括一個閘極結構、一個連接到橫向超級接面結構的第一立柱以及一個緊靠第一立柱的第二立柱。該橫向超級接面金氧半場效電晶體元件包括第一立柱,當金氧半場效電晶體接通時接收來自通道的電流,並將電流分配至橫向超級接面結構,用作汲極漂流區。位於第一立柱附近的第二立柱用於當金氧半場效電晶體元件斷開時,夾斷第一立柱,防止金氧半場效電晶體元件在汲極端承受的高電壓接觸閘極結構。在一些實施例中,橫向超級接面金氧半場效電晶體元件還包括用於汲極、源極以及本體接觸摻雜區梳的端接結構。
公开/授权文献
- TWI585970B 橫向超級接面金氧半場效電晶體元件 公开/授权日:2017-06-01
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