发明专利
TW201734436A 視覺檢測方法 审中-公开
视觉检测方法

視覺檢測方法
摘要:
本發明涉及一種元件處理裝置,尤其涉及一種對元件執行視覺檢測的元件處理裝置及視覺檢測方法。本發明揭露一種視覺檢測方法,用於對形成在元件(1)的表面上的多個球狀突出部(1a)執行視覺檢測,包括:圖像獲取步驟,對於元件(1)的表面相對移動的同時將狹縫光照射於元件(1)的表面,並且通過光學三角法測量元件(1)的表面上的高度,同時獲取對照射狹縫光的元件(1)表面的第一圖像,其中狹縫光照射在元件(1)表面時形成為大於0°且小於90°的第一入射角;及狹縫光分析步驟,在通過圖像獲取步驟獲取的第一圖像中,在以像素為單位且像素值為提前設定的值以上的區域內,將通過圖像獲取步驟測量的高度的最高位置指定為突出部(1a)的頂點位置。
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