Invention Patent
TW201816942A 結晶性III-N膜的射頻(RF)濾波器和諧振器 审中-公开
结晶性III-N膜的射频(RF)滤波器和谐振器

結晶性III-N膜的射頻(RF)濾波器和諧振器
Abstract:
藉由磊晶地形成壓電膜於自在下面的基板開始形成之柱部的頂部表面上來製作體聲波諧振器架構。在有些情況中,聲波諧振器被製作成濾波多個頻率。在有些此類情況中,諧振器裝置在單一個基板上包含兩個不同的諧振器結構,各諧振器結構被組構成濾波所想要的頻率。在單一個RF聲波諧振器裝置中包含兩個不同的聲波諧振器致使單一個裝置能夠在相對小的占用面積尺寸上濾波兩種不同的頻率。
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