发明专利
- 专利标题： 場效型電晶體、顯示元件、顯示裝置及顯示系統
- 专利标题（中）： 场效型晶体管、显示组件、显示设备及显示系统
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申请号： TW107122614申请日： 2017-01-20
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公开(公告)号： TW201837576A公开(公告)日： 2018-10-16
- 发明人: 新江定憲 , ARAE, SADANORI , 植田尚之 , UEDA, NAOYUKI , 中村有希 , NAKAMURA, YUKI , 安部由希子 , ABE, YUKIKO , 松本真二 , MATSUMOTO, SHINJI , 曾根雄司 , SONE, YUJI , 早乙女遼一 , SAOTOME, RYOICHI , 草柳嶺秀 , KUSAYANAGI, MINEHIDE
- 申请人： 日商理光股份有限公司 , RICOH COMPANY, LTD.
- 专利权人： 日商理光股份有限公司,RICOH COMPANY, LTD.
- 当前专利权人： 日商理光股份有限公司,RICOH COMPANY, LTD.
- 代理商 侯德銘
- 优先权： 2016-017556 20160201;2016-112375 20160606;2016-112946 20160606
- 主分类号： G02F1/1368
- IPC分类号： G02F1/1368 ; H01L21/28 ; H01L21/283 ; H01L21/336 ; H01L29/417 ; H01L29/423 ; H01L29/49 ; H01L29/786 ; H01L51/50
摘要：
一種場效型電晶體，具有：基材；形成於前述基材上的源極電極、汲極電極及閘極電極；活性層，藉由對前述閘極電極施加既定的電壓，而在前述源極電極與前述汲極電極之間形成通道；以及閘極絕緣層，設置於前述閘極電極與前述活性層之間，其中，該場效型電晶體的特徵為：前述閘極絕緣層藉由包含屬於鹼土類金屬的第A元素、和屬於Ga、Sc、Y及鑭系元素之至少任一者的第B元素的氧化物膜來形成，在前述閘極電極、前述源極電極、前述汲極電極中，形成於前述閘極絕緣層既定面的電極係包含第1導電膜和第2導電膜的積層膜，前述第1導電膜係以有機鹼溶液溶解，前述第2導電膜係形成於前述第1導電膜上且對既定蝕刻液的蝕刻率比前述第1導電膜還高。
公开/授权文献
- TWI687750B 場效型電晶體、顯示元件、顯示裝置及顯示系統 公开/授权日：2020-03-11
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