发明专利
- 专利标题: 接合體及彈性波元件
- 专利标题(中): 接合体及弹性波组件
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申请号: TW107109932申请日: 2018-03-23
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公开(公告)号: TW201840128A公开(公告)日: 2018-11-01
- 发明人: 後藤萬佐司 , GOTO, MASASHI , 鵜野雄大 , UNO, YUDAI , 淺井圭一郎 , ASAI, KEIICHIRO , 多井知義 , TAI, TOMOYOSHI
- 申请人: 日商日本碍子股份有限公司 , NGK INSULATORS, LTD.
- 专利权人: 日商日本碍子股份有限公司,NGK INSULATORS, LTD.
- 当前专利权人: 日商日本碍子股份有限公司,NGK INSULATORS, LTD.
- 代理商 周良謀; 周良吉
- 优先权: 2017-070219 20170331
- 主分类号: H03H3/08
- IPC分类号: H03H3/08 ; H03H9/25 ; H01L41/18 ; H01L41/22
摘要:
依本發明之接合體具有:支持基板,由多晶陶瓷材料或單晶材料形成;壓電性單晶基板;及接合層,設置在支持基板與壓電性單晶基板之間。本發明旨在於此接合體中,提高接合層之絕緣性且提高支持基板與壓電性單晶基板之接合強度。 為達前述目的,接合體5具有:支持基板1、壓電性單晶基板4、及設置在支持基板1與壓電性單晶基板4間之接合層2A。接合層2A具有Si(1-x)Ox(0.008≦x≦0.408)之組成。
公开/授权文献
- TWI668958B 接合體及彈性波元件 公开/授权日:2019-08-11
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