发明专利
TW201840128A 接合體及彈性波元件 审中-公开
接合体及弹性波组件

接合體及彈性波元件
摘要:
依本發明之接合體具有:支持基板,由多晶陶瓷材料或單晶材料形成;壓電性單晶基板;及接合層,設置在支持基板與壓電性單晶基板之間。本發明旨在於此接合體中,提高接合層之絕緣性且提高支持基板與壓電性單晶基板之接合強度。 為達前述目的,接合體5具有:支持基板1、壓電性單晶基板4、及設置在支持基板1與壓電性單晶基板4間之接合層2A。接合層2A具有Si(1-x)Ox(0.008≦x≦0.408)之組成。
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