本發明係關於光阻組合物，其包含聚合物組分、光酸產生劑組分(PAG)、光敏性重氮萘醌組分(PAC)、鹼組分、溶劑組分及視情況選用之雜環硫醇組分。該聚合物組分為酚醛清漆樹脂衍生物，其包含具有游離酚羥基部分的酚醛清漆樹脂重複單元及包含受酸可裂解縮醛部分保護之酚羥基部分的酚醛清漆樹脂重複單元。該縮醛部分係選自：單官能烷基縮醛部分，其保護包含酚醛清漆樹脂酚羥基部分之重複單元；縮醛，其包含經PAC部分官能化之部分，保護包含酚醛清漆樹脂酚羥基部分之重複單元；雙官能縮醛包含部分，其鍵聯及保護包含酚醛清漆樹脂酚羥基部分之兩個重複單元，在該聚合物組分中的兩個不同聚合物鏈之間形成該聚合物組分中的鍵聯點；及此等三種類型之酸可裂解縮醛部分中之任一者的混合物。該PAC組分係選自：該縮醛，其包含經PAC部分官能化之部分，保護包含酚醛清漆樹脂酚羥基部分的重複單元；游離PAC組分，及此等兩種類型的PAC組分之混合物。本發明亦係關於在厚或薄膜光阻器件製造方法中使用本發明組合物之方法。