網版印刷用油墨組成物及圖型形成方法
    2.
    发明专利
    網版印刷用油墨組成物及圖型形成方法 审中-公开
    网版印刷用油墨组成物及图型形成方法

    公开(公告)号:TW201409170A

    公开(公告)日:2014-03-01

    申请号:TW102119409

    申请日:2013-05-31

    IPC分类号: G03F7/016 H01L21/027

    摘要: 本發明為提供一種適用於將使用於圖型形成的塗膜藉由網版印刷法形成於基板上的網版印刷用油墨組成物。該態樣之網版印刷用油墨組成物為含有基材樹脂成分(A)、光活性化合物(B)與由沸點為200℃以上的有機溶劑所成的溶劑(C)。該網版印刷用油墨組成物表面張力為34.0mN/m以上39.0mN/m以下。

    简体摘要: 本发明为提供一种适用于将使用于图型形成的涂膜借由网版印刷法形成于基板上的网版印刷用油墨组成物。该态样之网版印刷用油墨组成物为含有基材树脂成分(A)、光活性化合物(B)与由沸点为200℃以上的有机溶剂所成的溶剂(C)。该网版印刷用油墨组成物表面张力为34.0mN/m以上39.0mN/m以下。

    感光性樹脂組成物、乾膜、硬化物及電子零件
    6.
    发明专利
    感光性樹脂組成物、乾膜、硬化物及電子零件 审中-公开
    感光性树脂组成物、干膜、硬化物及电子零件

    公开(公告)号:TW202022494A

    公开(公告)日:2020-06-16

    申请号:TW108133314

    申请日:2019-09-17

    摘要: 本發明之課題在於提供一種可有效取得具有高感度,且溶解對比及高溫圖型維持性優異之乾燥塗膜及顯示低線熱膨脹係數之硬化膜的感光性樹脂組成物,以及使用該感光性樹脂組成物之乾膜及電子零件。 其解決手段之本發明之感光性樹脂組成物,其特徵為包含: (A)下述一般式(1)或(2)所示之含酯基之聚醯亞胺前驅物,及 (B)感光劑。

    简体摘要: 本发明之课题在于提供一种可有效取得具有高感度,且溶解对比及高温图型维持性优异之干燥涂膜及显示低线热膨胀系数之硬化膜的感光性树脂组成物,以及使用该感光性树脂组成物之干膜及电子零件。 其解决手段之本发明之感光性树脂组成物,其特征为包含: (A)下述一般式(1)或(2)所示之含酯基之聚酰亚胺前驱物,及 (B)感光剂。

    基於酚醛清漆樹脂/重氮萘醌(DNQ)之化學增幅型光阻
    7.
    发明专利
    基於酚醛清漆樹脂/重氮萘醌(DNQ)之化學增幅型光阻 审中-公开
    基于酚醛清漆树脂/重氮萘醌(DNQ)之化学增幅型光阻

    公开(公告)号:TW202004340A

    公开(公告)日:2020-01-16

    申请号:TW108117985

    申请日:2019-05-24

    摘要: 本發明係關於光阻組合物,其包含聚合物組分、光酸產生劑組分(PAG)、光敏性重氮萘醌組分(PAC)、鹼組分、溶劑組分及視情況選用之雜環硫醇組分。該聚合物組分為酚醛清漆樹脂衍生物,其包含具有游離酚羥基部分的酚醛清漆樹脂重複單元及包含受酸可裂解縮醛部分保護之酚羥基部分的酚醛清漆樹脂重複單元。該縮醛部分係選自:單官能烷基縮醛部分,其保護包含酚醛清漆樹脂酚羥基部分之重複單元;縮醛,其包含經PAC部分官能化之部分,保護包含酚醛清漆樹脂酚羥基部分之重複單元;雙官能縮醛包含部分,其鍵聯及保護包含酚醛清漆樹脂酚羥基部分之兩個重複單元,在該聚合物組分中的兩個不同聚合物鏈之間形成該聚合物組分中的鍵聯點;及此等三種類型之酸可裂解縮醛部分中之任一者的混合物。該PAC組分係選自:該縮醛,其包含經PAC部分官能化之部分,保護包含酚醛清漆樹脂酚羥基部分的重複單元;游離PAC組分,及此等兩種類型的PAC組分之混合物。本發明亦係關於在厚或薄膜光阻器件製造方法中使用本發明組合物之方法。

    简体摘要: 本发明系关于光阻组合物,其包含聚合物组分、光酸产生剂组分(PAG)、光敏性重氮萘醌组分(PAC)、碱组分、溶剂组分及视情况选用之杂环硫醇组分。该聚合物组分为酚醛清漆树脂衍生物,其包含具有游离酚羟基部分的酚醛清漆树脂重复单元及包含受酸可裂解缩醛部分保护之酚羟基部分的酚醛清漆树脂重复单元。该缩醛部分系选自:单官能烷基缩醛部分,其保护包含酚醛清漆树脂酚羟基部分之重复单元;缩醛,其包含经PAC部分官能化之部分,保护包含酚醛清漆树脂酚羟基部分之重复单元;双官能缩醛包含部分,其键联及保护包含酚醛清漆树脂酚羟基部分之两个重复单元,在该聚合物组分中的两个不同聚合物链之间形成该聚合物组分中的键联点;及此等三种类型之酸可裂解缩醛部分中之任一者的混合物。该PAC组分系选自:该缩醛,其包含经PAC部分官能化之部分,保护包含酚醛清漆树脂酚羟基部分的重复单元;游离PAC组分,及此等两种类型的PAC组分之混合物。本发明亦系关于在厚或薄膜光阻器件制造方法中使用本发明组合物之方法。