本發明的課題是不增加在具有電晶體的顯示裝置的製程中使用的光掩模個數而提高電晶體的可靠性。在該電晶體中，省略用來形成島狀半導體層的光微影製程及蝕刻製程，不增加光掩模個數而製造島狀半導體層。明確地說，藉由形成閘極電極的製程、形成用來減少蝕刻製程等所造成的損傷的保護層的製程、形成源極電極及汲極電極的製程、形成接觸孔的製程、形成像素電極的製程的五個光微影製程製造液晶顯示裝置。並且本發明的一個方式的液晶顯示裝置具有在形成接觸孔的製程同時形成且用來斷開半導體層的溝槽部分。