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公开(公告)号：TW202027172A
公开(公告)日：2020-07-16
申请号：TW108139651
申请日：2012-11-01
发明人： 山崎舜平 , YAMAZAKI, SHUNPEI , 小山潤 , KOYAMA, JUN
IPC分类号： H01L21/336 , G02F1/1368 , G09F9/30 , H01L29/786 , H05B33/14
摘要： 本發明的課題是不增加在具有電晶體的顯示裝置的製程中使用的光掩模個數而提高電晶體的可靠性。在該電晶體中，省略用來形成島狀半導體層的光微影製程及蝕刻製程，不增加光掩模個數而製造島狀半導體層。明確地說，藉由形成閘極電極的製程、形成用來減少蝕刻製程等所造成的損傷的保護層的製程、形成源極電極及汲極電極的製程、形成接觸孔的製程、形成像素電極的製程的五個光微影製程製造液晶顯示裝置。並且本發明的一個方式的液晶顯示裝置具有在形成接觸孔的製程同時形成且用來斷開半導體層的溝槽部分。
简体摘要： 本发明的课题是不增加在具有晶体管的显示设备的制程中使用的光掩模个数而提高晶体管的可靠性。在该晶体管中，省略用来形成岛状半导体层的光微影制程及蚀刻制程，不增加光掩模个数而制造岛状半导体层。明确地说，借由形成闸极电极的制程、形成用来减少蚀刻制程等所造成的损伤的保护层的制程、形成源极电极及汲极电极的制程、形成接触孔的制程、形成像素电极的制程的五个光微影制程制造液晶显示设备。并且本发明的一个方式的液晶显示设备具有在形成接触孔的制程同时形成且用来断开半导体层的沟槽部分。
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公开(公告)号：TWI670711B
公开(公告)日：2019-09-01
申请号：TW105110305
申请日：2011-09-07
发明人： 小山潤 , KOYAMA, JUN , 山崎舜平 , YAMAZAKI, SHUNPEI
IPC分类号： G11C11/4063 , G11C11/413
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公开(公告)号：TWI670553B
公开(公告)日：2019-09-01
申请号：TW102116205
申请日：2013-05-07
发明人： 山崎舜平 , YAMAZAKI, SHUNPEI , 小山潤 , KOYAMA, JUN
IPC分类号： G02F1/1368 , H01L27/32 , G06F3/041
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公开(公告)号：TWI647517B
公开(公告)日：2019-01-11
申请号：TW106116726
申请日：2011-02-24
发明人： 今藤敏和 , KONDO, TOSHIKAZU , 小山潤 , KOYAMA, JUN , 山崎舜平 , YAMAZAKI, SHUNPEI
IPC分类号： G02F1/1333 , G02F1/1362 , H01L29/786
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公开(公告)号：TWI633377B
公开(公告)日：2018-08-21
申请号：TW106114988
申请日：2010-10-05
发明人： 山崎舜平 , YAMAZAKI, SHUNPEI , 荒澤亮 , ARASAWA, RYO , 小山潤 , KOYAMA, JUN , 津吹將志 , TSUBUKU, MASASHI , 野田耕生 , NODA, KOSEI
IPC分类号： G02F1/1343 , G02F1/1368 , H01L29/786 , G09G3/36
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公开(公告)号：TWI632397B
公开(公告)日：2018-08-11
申请号：TW106104111
申请日：2012-07-12
发明人： 小山潤 , KOYAMA, JUN , 三宅博之 , MIYAKE, HIROYUKI , 豐高耕平 , TOYOTAKA, KOUHEI , 原田光 , HARADA, HIKARU , 兼安誠 , KANEYASU, MAKOTO
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公开(公告)号：TWI627629B
公开(公告)日：2018-06-21
申请号：TW105110327
申请日：2011-09-06
发明人： 小山潤 , KOYAMA, JUN , 山崎舜平 , YAMAZAKI, SHUNPEI
IPC分类号： G11C11/401 , G11C11/4193
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公开(公告)号：TWI698959B
公开(公告)日：2020-07-11
申请号：TW107113575
申请日：2011-08-25
发明人： 山崎舜平 , YAMAZAKI, SHUNPEI , 小山潤 , KOYAMA, JUN
IPC分类号： H01L21/8242 , H01L27/108 , G11C11/401 , G11C7/12 , G11C7/18 , G11C8/08 , G11C8/14
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公开(公告)号：TWI697055B
公开(公告)日：2020-06-21
申请号：TW108113080
申请日：2010-10-08
发明人： 山崎舜平 , YAMAZAKI, SHUNPEI , 小山潤 , KOYAMA, JUN , 三宅博之 , MIYAKE, HIROYUKI , 高橋圭 , TAKAHASHI, KEI , 豐高耕平 , TOYOTAKA, KOUHEI , 津吹將志 , TSUBUKU, MASASHI , 野田耕生 , NODA, KOSEI , 桑原秀明 , KUWABARA, HIDEAKI
IPC分类号： H01L21/336 , H01L29/786
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公开(公告)号：TW202022453A
公开(公告)日：2020-06-16
申请号：TW109101794
申请日：2011-02-24
发明人： 今藤敏和 , KONDO, TOSHIKAZU , 小山潤 , KOYAMA, JUN , 山崎舜平 , YAMAZAKI, SHUNPEI
IPC分类号： G02F1/1333 , G02F1/1362 , H01L29/786
摘要： 本發明的目的之一在於降低液晶顯示裝置所具有的信號線的寄生電容。作為設置在各像素中的電晶體，應用具備氧化物半導體層的電晶體。注意，該氧化物半導體層是藉由徹底去除成為電子供體(施體)的雜質(氫或水等)而獲得到高度純化的氧化物半導體層。由此，可以降低電晶體處於截止狀態時的洩漏電流(截止電流)。因此，即使在各像素中不設置電容器也可以保持施加到液晶元件的電壓。另外，與此附隨而可以去除延伸到液晶顯示裝置的像素部的電容佈線。由此，可以去除信號線與電容佈線相交叉的區域中的寄生電容。
简体摘要： 本发明的目的之一在于降低液晶显示设备所具有的信号线的寄生电容。作为设置在各像素中的晶体管，应用具备氧化物半导体层的晶体管。注意，该氧化物半导体层是借由彻底去除成为电子供体(施体)的杂质(氢或水等)而获得到高度纯化的氧化物半导体层。由此，可以降低晶体管处于截止状态时的泄漏电流(截止电流)。因此，即使在各像素中不设置电容器也可以保持施加到液芯片件的电压。另外，与此附随而可以去除延伸到液晶显示设备的像素部的电容布线。由此，可以去除信号线与电容布线相交叉的区域中的寄生电容。
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