发明专利
- 专利标题: 半導體元件與其形成方法
- 专利标题(英): Semiconductor device and method for manufacturing the same
- 专利标题(中): 半导体组件与其形成方法
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申请号: TW099134682申请日: 2010-10-12
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公开(公告)号: TWI411084B公开(公告)日: 2013-10-01
- 发明人: 張宏賓 , CHANG, HUNG PIN , 邱建明 , CHIU, CHIEN MING , 吳倉聚 , WU, TSANG JIUH , 眭曉林 , SHUE, SHAU LIN , 余振華 , YU, CHEN HUA
- 申请人: 台灣積體電路製造股份有限公司 , TAIWAN SEMICONDUCTOR MANUFACTURING CO., LTD.
- 申请人地址: 新竹市
- 专利权人: 台灣積體電路製造股份有限公司,TAIWAN SEMICONDUCTOR MANUFACTURING CO., LTD.
- 当前专利权人: 台灣積體電路製造股份有限公司,TAIWAN SEMICONDUCTOR MANUFACTURING CO., LTD.
- 当前专利权人地址: 新竹市
- 代理商 洪澄文; 顏錦順
- 优先权: 12/750,100 20100330
- 主分类号: H01L23/52
- IPC分类号: H01L23/52 ; H01L23/48 ; H01L21/768
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