发明专利
- 专利标题: 具有電介質襯裡之高電壓三維裝置
- 专利标题(英): High voltage three-dimensional devices having dielectric liners
- 专利标题(中): 具有电介质衬里之高电压三维设备
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申请号: TW105116272申请日: 2013-06-13
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公开(公告)号: TWI610421B公开(公告)日: 2018-01-01
- 发明人: 賀菲斯 瓦力德 , HAFEZ, WALID M. , 葉震亞 , YEH, JENG YA D. , 蔡 柯堤斯 , TSAI, CURTIS , 朴朱東 , PARK, JOODONG , 簡嘉弘 , JAN, CHIA-HONG , 哈瑪撒帝 古賓納 , BHIMARASETTI, GOPINATH
- 申请人: 英特爾股份有限公司 , INTEL CORPORATION
- 专利权人: 英特爾股份有限公司,INTEL CORPORATION
- 当前专利权人: 英特爾股份有限公司,INTEL CORPORATION
- 代理商 林志剛
- 优先权: 13/536,732 20120628
- 主分类号: H01L27/105
- IPC分类号: H01L27/105 ; H01L21/31
公开/授权文献
- TW201631740A 具有電介質襯裡之高電壓三維裝置 公开/授权日:2016-09-01
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