发明专利
- 专利标题： 化學增幅型抗蝕劑材料
- 专利标题（英）： CHEMICALLY AMPLIFIED RESIST MATERIAL
- 专利标题（中）： 化学增幅型抗蚀剂材料
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申请号： TW105126480申请日： 2016-08-19
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公开(公告)号： TWI698707B公开(公告)日： 2020-07-11
- 发明人: 中川恭志 , NAKAGAWA, HISASHI , 成岡岳彦 , NARUOKA, TAKEHIKO , 永井智樹 , NAGAI, TOMOKI , 田川精一 , TAGAWA, SEIICHI , 大島明博 , OSHIMA, AKIHIRO , 永原誠司 , NAGAHARA, SEIJI
- 申请人： 國立大學法人大阪大學 , OSAKA UNIVERSITY , 日商東京威力科創股份有限公司 , TOKYO ELECTRON LIMITED , 日商JSR股份有限公司 , JSR CORPORATION
- 专利权人： 國立大學法人大阪大學,OSAKA UNIVERSITY,日商東京威力科創股份有限公司,TOKYO ELECTRON LIMITED,日商JSR股份有限公司,JSR CORPORATION
- 当前专利权人： 國立大學法人大阪大學,OSAKA UNIVERSITY,日商東京威力科創股份有限公司,TOKYO ELECTRON LIMITED,日商JSR股份有限公司,JSR CORPORATION
- 代理商 葉璟宗
- 优先权： 2015-163254 20150820
- 主分类号： G03F7/004
- IPC分类号： G03F7/004 ; G03F7/038 ; G03F7/039 ; G03F7/20 ; G03F7/32 ; G03F7/40 ; H01L21/027
公开/授权文献
- TW201716859A 化學增幅型抗蝕劑材料 公开/授权日：2017-05-16
信息查询
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