发明专利
- 专利标题: 惰性陽極電鍍處理器和補充器
- 专利标题(英): INERT ANODE ELECTROPLATING PROCESSOR AND REPLENISHER
- 专利标题(中): 惰性阳极电镀处理器和补充器
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申请号: TW105122366申请日: 2016-07-15
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公开(公告)号: TWI700396B公开(公告)日: 2020-08-01
- 发明人: 威爾森 葛瑞格里J , WILSON, GREGORY J. , 麥克修 保羅R , MCHUGH, PAUL R. , 克羅克 約翰L , KLOCKE, JOHN L.
- 申请人: 美商應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC.
- 专利权人: 美商應用材料股份有限公司,APPLIED MATERIALS, INC.
- 当前专利权人: 美商應用材料股份有限公司,APPLIED MATERIALS, INC.
- 代理商 祁明輝; 林素華; 涂綺玲
- 优先权: 14/802,859 20150717
- 主分类号: C25D17/00
- IPC分类号: C25D17/00 ; C25D21/18 ; C25D7/12
公开/授权文献
- TW201718953A 惰性陽極電鍍處理器和補充器 公开/授权日:2017-06-01
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