公开(公告)号：TWI686512B

公开(公告)日：2020-03-01

申请号：TW105128222

申请日：2016-09-01

申请人： 美商應用材料股份有限公司 ,  APPLIED MATERIALS, INC.

发明人： 威爾森 葛瑞格里J ,  WILSON, GREGORY J. ,  麥克修 保羅R ,  MCHUGH, PAUL R.

IPC分类号： C25D17/00 ,  C25D17/10 ,  C25D17/06 ,  C25D5/16 ,  C25D7/12 ,  H01L21/288

公开(公告)号：TW202004350A

公开(公告)日：2020-01-16

申请号：TW108135206

申请日：2017-06-15

申请人： 美商應用材料股份有限公司 ,  APPLIED MATERIALS, INC.

发明人： 漢森 凱爾M ,  HANSON, KYLE M. ,  威爾森 葛瑞格里J ,  WILSON, GREGORY J. ,  芭芭洋 維亞契史拉維 ,  BABAYAN, VIACHSLAV

IPC分类号： G03F7/16 ,  G03F7/20 ,  G03F1/00 ,  H01L21/027

摘要： 本案所述的實施例關於用於進行浸入場引導的曝光後烘烤製程的方法和設備。於此所述的設備的實施例包括界定處理容積的腔室主體。電極可設置在處理容積附近，並且經由複數個流體導管而將處理流體提供給處理容積以促進浸入場引導的曝光後烘烤製程。亦提供了用於沖洗、顯影和乾燥基板的後處理腔室。

简体摘要： 本案所述的实施例关于用于进行浸入场引导的曝光后烘烤制程的方法和设备。于此所述的设备的实施例包括界定处理容积的腔室主体。电极可设置在处理容积附近，并且经由复数个流体导管而将处理流体提供给处理容积以促进浸入场引导的曝光后烘烤制程。亦提供了用于冲洗、显影和干燥基板的后处理腔室。

公开(公告)号：TWI682071B

公开(公告)日：2020-01-11

申请号：TW106109472

申请日：2017-03-22

申请人： 美商應用材料股份有限公司 ,  APPLIED MATERIALS, INC.

发明人： 威爾森 葛瑞格里J ,  WILSON, GREGORY J.

IPC分类号： C25D17/00 ,  C25D5/56 ,  C25D7/12 ,  H01L21/288

公开(公告)号：TWI700396B

公开(公告)日：2020-08-01

申请号：TW105122366

申请日：2016-07-15

申请人： 美商應用材料股份有限公司 ,  APPLIED MATERIALS, INC.

发明人： 威爾森 葛瑞格里J ,  WILSON, GREGORY J. ,  麥克修 保羅R ,  MCHUGH, PAUL R. ,  克羅克 約翰L ,  KLOCKE, JOHN L.

IPC分类号： C25D17/00 ,  C25D21/18 ,  C25D7/12

公开(公告)号：TWI695912B

公开(公告)日：2020-06-11

申请号：TW105123028

申请日：2016-07-21

申请人： 美商應用材料股份有限公司 ,  APPLIED MATERIALS, INC.

发明人： 威爾森 葛瑞格里J ,  WILSON, GREGORY J. ,  麥克修 保羅R ,  MCHUGH, PAUL R.

IPC分类号： C25D21/10

公开(公告)号：TWI695911B

公开(公告)日：2020-06-11

申请号：TW105136201

申请日：2016-11-08

申请人： 美商應用材料股份有限公司 ,  APPLIED MATERIALS, INC.

发明人： 麥克修 保羅R ,  MCHUGH, PAUL R. ,  威爾森 葛瑞格里J ,  WILSON, GREGORY J.

IPC分类号： C25D17/10 ,  C25D21/18 ,  H01L21/28

公开(公告)号：TWI697588B

公开(公告)日：2020-07-01

申请号：TW107141477

申请日：2018-11-21

申请人： 美商應用材料股份有限公司 ,  APPLIED MATERIALS, INC.

发明人： 麥克休 保羅 ,  MCHUGH, PAUL ,  威爾遜 格雷戈里 ,  WILSON, GREGORY J. ,  伍德拉夫 丹尼爾 ,  WOODRUFF, DANIEL ,  伯恩特 馬文 ,  BERNT, MARVIN

IPC分类号： C25D21/12 ,  C25D19/00 ,  H01L21/208

公开(公告)号：TWI686875B

公开(公告)日：2020-03-01

申请号：TW106119590

申请日：2017-06-13

申请人： 美商應用材料股份有限公司 ,  APPLIED MATERIALS, INC.

发明人： 麥克修 保羅R ,  MCHUGH, PAUL R. ,  漢森 凱爾摩倫 ,  HANSON, KYLE MORAN ,  克羅克 約翰L ,  KLOCKE, JOHN L. ,  柏格曼 艾瑞克J ,  BERGMAN, ERIC J. ,  克蘭 史都華 ,  CRANE, STUART ,  威爾森 葛瑞格里J ,  WILSON, GREGORY J.

IPC分类号： H01L21/46 ,  G03F7/42

公开(公告)号：TWI682073B

公开(公告)日：2020-01-11

申请号：TW105102372

申请日：2016-01-26

申请人： 美商應用材料股份有限公司 ,  APPLIED MATERIALS, INC.

发明人： 威爾森葛瑞格里J ,  WILSON, GREGORY J. ,  麥克修保羅R ,  MCHUGH, PAUL R.

IPC分类号： C25D17/10 ,  C25D17/06 ,  C25D7/12 ,  H01L21/288 ,  H01L21/3205

公开(公告)号：TWI681257B

公开(公告)日：2020-01-01

申请号：TW106119960

申请日：2017-06-15

申请人： 美商應用材料股份有限公司 ,  APPLIED MATERIALS, INC.

发明人： 漢森 凱爾M ,  HANSON, KYLE M. ,  威爾森 葛瑞格里J ,  WILSON, GREGORY J. ,  芭芭洋 維亞契史拉維 ,  BABAYAN, VIACHSLAV

IPC分类号： G03F7/16 ,  G03F7/20 ,  G03F1/00 ,  H01L21/027