- 专利标题： Phase change material switch and method of fabricating same
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申请号： US16821660申请日： 2020-03-17
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公开(公告)号： US11316105B2公开(公告)日： 2022-04-26
- 发明人: Tian Shen , Ruilong Xie , Kevin W. Brew , Heng Wu , Jingyun Zhang
- 申请人： International Business Machines Corporation
- 申请人地址： US NY Armonk
- 专利权人： International Business Machines Corporation
- 当前专利权人： International Business Machines Corporation
- 当前专利权人地址： US NY Armonk
- 代理机构： Ryan, Mason & Lewis, LLP
- 代理商 Randall Bluestone
- 主分类号： H01L45/00
- IPC分类号： H01L45/00
摘要：
A phase change material switch includes a phase change layer disposed on a metal liner. A gate dielectric layer is disposed on the phase change layer. A metal gate liner is disposed on the gate dielectric layer.
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