- 专利标题： Fiber optic MEMS microphone
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申请号： US17604441申请日： 2019-04-18
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公开(公告)号： US11889264B2公开(公告)日： 2024-01-30
- 发明人: Baris Bayram , Asaf Behzat Sahin , Ilker Oguz , Goktug Cihan Ozmen , Ekin Muharrem Karaca , Do{hacek over (g)}a Buse Cavdir
- 申请人： ORTA DOGU TEKNIK UNIVERSITESI
- 申请人地址： TR Ankara
- 专利权人： ORTA DOGU TEKNIK UNIVERSITESI
- 当前专利权人： ORTA DOGU TEKNIK UNIVERSITESI
- 当前专利权人地址： TR Ankara
- 代理机构： Bayramoglu Law Offices LLC
- 国际申请： PCT/TR2019/050262 2019.04.18
- 国际公布： WO2020/214108A 2020.10.22
- 进入国家日期： 2021-10-18
- 主分类号： H04R23/00
- IPC分类号： H04R23/00
摘要：
A fiber optic MEMS microphone featuring an electrically deflectable MEMS membrane via a conversion of an optical energy propagating in an optical fiber cable to an electrical energy with a photodiode chip. The fiber optic MEMS microphone includes a MEMS device, the photodiode chip, a voltage, a power adjustable laser beam and a light.
公开/授权文献
- US20220182770A1 FIBER OPTIC MEMS MICROPHONE 公开/授权日：2022-06-09
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