发明申请
- 专利标题： Semiconductor-processing apparatus provided with susceptor and placing block
- 专利标题（中）： 设有基座和放置块的半导体处理设备
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申请号： US10897061申请日： 2004-07-22
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公开(公告)号： US20050022737A1公开(公告)日： 2005-02-03
- 发明人: Akira Shimizu , Hideaki Fukuda , Hiroki Arai , Baiei Kawano , Takayuki Yamagishi
- 申请人： Akira Shimizu , Hideaki Fukuda , Hiroki Arai , Baiei Kawano , Takayuki Yamagishi
- 申请人地址： JP Tokyo
- 专利权人： ASM JAPAN K.K.
- 当前专利权人： ASM JAPAN K.K.
- 当前专利权人地址： JP Tokyo
- 优先权： JP2003-280872 20030728
- 主分类号： H01L21/683
- IPC分类号： H01L21/683 ; C23C16/00 ; C23C16/458 ; H01L21/205 ; H01L21/677 ; H01L21/68
摘要：
A semiconductor-processing apparatus comprises a susceptor and removable placing blocks detachably placed at a periphery of the susceptor for transferring a substrate. Retractable supporting members are provided for detaching/attaching the placing blocks from/to the susceptor.
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