发明申请
US20050034850A1 Heating/cooling method, manufacturing method of image displaying apparatus, heating/cooling apparatus, and heating/cooling processing apparatus
失效
加热/冷却方法，图像显示装置的制造方法，加热/冷却装置和加热/冷却处理装置
- 专利标题： Heating/cooling method, manufacturing method of image displaying apparatus, heating/cooling apparatus, and heating/cooling processing apparatus
- 专利标题（中）： 加热/冷却方法，图像显示装置的制造方法，加热/冷却装置和加热/冷却处理装置
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申请号： US10885683申请日： 2004-07-08
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公开(公告)号： US20050034850A1公开(公告)日： 2005-02-17
- 发明人: Masanao Yoshimura , Takeshi Yakou , Akihiko Komura , Akihiro Kimura , Shigeto Kamata
- 申请人： Masanao Yoshimura , Takeshi Yakou , Akihiko Komura , Akihiro Kimura , Shigeto Kamata
- 申请人地址： JP Tokyo
- 专利权人： CANON KABUSHIKI KAISHA
- 当前专利权人： CANON KABUSHIKI KAISHA
- 当前专利权人地址： JP Tokyo
- 优先权： JP2003-272431(PAT.) 20030709; JP2003-328290(PAT.) 20030919
- 主分类号： C03B29/02
- IPC分类号： C03B29/02 ; C03B32/00 ; C03C23/00 ; F27B17/00 ; F27D19/00 ; F27D99/00 ; H01J9/24 ; F01P7/10 ; F28F27/00
摘要：
A heating/cooling method, a manufacturing method of an image displaying apparatus, a heating/cooling apparatus, and a heating/cooling processing apparatus, in which the heating and cooling of a substrate can be executed at a high speed are provided.
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