Composition for preparing nanoporous material

发明申请

US20060040509A1 Composition for preparing nanoporous material 失效

标题翻译：用于制备纳米多孔材料的组合物

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专利标题： Composition for preparing nanoporous material
专利标题（中）： 用于制备纳米多孔材料的组合物
申请号： US11002187

申请日： 2004-12-03
公开(公告)号： US20060040509A1

公开(公告)日： 2006-02-23
发明人: Jin Yim , Byoung Choi , Duk An
申请人： Jin Yim , Byoung Choi , Duk An
申请人地址： KR Suwon-Si
专利权人： SAMSUNG CORNING CO., LTD.
当前专利权人： SAMSUNG CORNING CO., LTD.
当前专利权人地址： KR Suwon-Si
优先权： KR2004-64641 20040817
主分类号： H01L21/31
IPC分类号： H01L21/31

Composition for preparing nanoporous material

摘要：

Disclosed herein is a composition for preparing a nanoporous material. The composition comprises i) a cyclodextrin derivative, ii) a thermostable matrix precursor, and iii) a solvent for dissolving the components i) and ii). The composition enables the preparation of a low dielectric constant film in which nanopores with a size of 20 Å or less are uniformly distributed.

摘要（中）：

本文公开了一种用于制备纳米多孔材料的组合物。组合物包含i）环糊精衍生物，ii）热稳定基质前体，和iii）用于溶解组分i）和ii）的溶剂。该组合物能够制备其中尺寸为20或更小的纳米孔均匀分布的低介电常数膜。

公开/授权文献

US07459549B2 Composition for preparing nanoporous material 公开/授权日：2008-12-02

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IPC分类:

H	电学
H01	基本电气元件
H01L	半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中使用的半导体器件见应用相关的小类）
H01L21/00	专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/02	.半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21/04	..至少具有一个跃变势垒或表面势垒的器件，例如PN结、耗尽层、载体集结层
H01L21/18	...器件有由周期表Ⅳ族元素或含有/不含有杂质的AⅢBⅤ族化合物构成的半导体，如掺杂材料
H01L21/30	....用H01L21/20至H01L21/26各组不包含的方法或设备处理半导体材料的（在半导体材料上制作电极的入H01L21/28）
H01L21/31	.....在半导体材料上形成绝缘层的，例如用于掩膜的或应用光刻技术的（密封层入H01L21/56）；以及这些层的后处理；这些层的材料的选择