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发明申请
US20060279862A1 Device and method for stacked multi-level uncoupled electrostatic actuators 失效
堆叠多级非耦合静电执行器的装置和方法

  • 专利标题： Device and method for stacked multi-level uncoupled electrostatic actuators
  • 专利标题（中）： 堆叠多级非耦合静电执行器的装置和方法
  • 申请号： US10545949
    申请日： 2004-02-15
  • 公开(公告)号： US20060279862A1
    公开(公告)日： 2006-12-14
  • 发明人: David Elata , Ofir Bochobza , Yael Nemirovsky
  • 申请人： David Elata , Ofir Bochobza , Yael Nemirovsky
  • 国际申请： PCT/IL04/00143 WO 20040215
  • 主分类号： G02B5/08
  • IPC分类号： G02B5/08
Device and method for stacked multi-level uncoupled electrostatic actuators
摘要：
A multi-level decoupled micro-actuator device comprising a first level substrate (410), a second level frame (420) stacked on said first level substrate (410), a third level frame (430) stacked on said second level frame (420).
摘要（中）：

一种多级解耦微致动器装置，包括第一级衬底（410），堆叠在所述第一级衬底（410）上的第二级框架（420），堆叠在所述第二级框架（420）上的第三级框架 ）。

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