公开(公告)号：US20060279862A1

公开(公告)日：2006-12-14

申请号：US10545949

申请日：2004-02-15

申请人： David Elata ,  Ofir Bochobza ,  Yael Nemirovsky

发明人： David Elata ,  Ofir Bochobza ,  Yael Nemirovsky

IPC分类号： G02B5/08

CPC分类号： B81B3/0062 ,  B81B2201/042 ,  B81B2203/058 ,  B81C2201/019 ,  G01J5/20 ,  G01J2005/0077 ,  G02B26/0841 ,  H01L27/1203 ,  H01L27/14669 ,  H02N1/006

摘要： A multi-level decoupled micro-actuator device comprising a first level substrate (410), a second level frame (420) stacked on said first level substrate (410), a third level frame (430) stacked on said second level frame (420).

摘要翻译： 一种多级解耦微致动器装置，包括第一级衬底（410），堆叠在所述第一级衬底（410）上的第二级框架（420），堆叠在所述第二级框架（420）上的第三级框架 ）。